芯恩(青岛)集成电路有限公司张文琪获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利晶舟及炉管装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224054749U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520064169.7，技术领域涉及：H10P72/10；该实用新型晶舟及炉管装置是由张文琪设计研发完成，并于2025-01-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶舟及炉管装置在说明书摘要公布了：本公开提供了一种晶舟及炉管装置，涉及半导体工艺技术领域。该晶舟包括：第一端部、第二端部与至少两个支撑柱；第一端部与第二端部相对，支撑柱位于第一端部与第二端部之间，相邻两个支撑柱之间存在间隙；一个支撑柱面向其他支撑柱的一侧开设有多个相互平行的支撑部，支撑部包括倾斜部与支撑岛；倾斜部的第一端与支撑柱连接，支撑岛位于倾斜部的第二端，第一端与第二端相对；所有支撑柱上的倾斜部均自第二端部向第一端部倾斜目标角度；所有支撑柱上位置相对的支撑岛相互配合以放置晶圆。本公开的方案，可以减小晶圆在晶舟提供的支撑部处因为杂质的残留或者膜层沉积的厚度差异变大而产生的劈裂缺陷。
本实用新型晶舟及炉管装置在权利要求书中公布了：1.一种晶舟，其特征在于，包括：第一端部、第二端部与至少两个支撑柱； 所述第一端部与所述第二端部相对，所述支撑柱位于所述第一端部与所述第二端部之间，相邻两个所述支撑柱之间存在间隙； 一个所述支撑柱面向其他支撑柱的一侧开设有多个相互平行的支撑部，所述支撑部包括倾斜部与支撑岛；所述倾斜部的第一端与所述支撑柱连接，所述支撑岛位于所述倾斜部的第二端，所述第一端与所述第二端相对； 所有所述支撑柱上的倾斜部均自所述第二端部向所述第一端部倾斜目标角度； 所有所述支撑柱上位置相对的所述支撑岛相互配合以放置晶圆。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励