无锡奥多尔自动化有限公司王金余获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡奥多尔自动化有限公司申请的专利一种晶圆烘焙装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224054746U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520850229.8，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种晶圆烘焙装置是由王金余;杨桦设计研发完成，并于2025-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆烘焙装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种晶圆烘焙装置。本实用新型提供一种晶圆烘焙装置，其能通过在底座上设置烤盘组件、通风罩组件、热风组件、送风组件和抽风组件的方式，使得1、热风组件对由抽风组件抽出的溶剂蒸汽进行加热，减少溶剂蒸汽由于温度降低冷凝附着在通风罩组件上的可能，从而提高设备的使用寿命和使用效率；2、晶圆主要依靠烤盘组件进行加热烘焙，另外，热风组件对送风组件向晶圆上表面吹扫的气体进行加热，从而对晶圆上表面的气体进行辅助热风吹扫，减少晶圆上下表面的烘焙温度差异，提高晶圆的烘焙效率，使得晶圆表面溶剂挥发更均匀。
本实用新型一种晶圆烘焙装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆烘焙装置，其特征在于，包括底座1，设置在所述底座1上、并用于加热晶圆a的烤盘组件2，设置在所述烤盘组件2上方的通风罩组件3，设置在所述通风罩组件3上的热风组件4，设置在所述通风罩组件3上、且位于所述热风组件4上方、并向所述晶圆a吹扫的送风风机5，设置在所述通风罩组件3上、且位于所述热风组件4上方、并用于将所述晶圆a上的溶剂蒸汽向外抽取的抽风风机6。
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