深圳市昇维旭技术有限公司何静获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市昇维旭技术有限公司申请的专利条形喷头、进气装置及基板处理设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224054745U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520717720.3，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型条形喷头、进气装置及基板处理设备是由何静;张强设计研发完成，并于2025-04-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本条形喷头、进气装置及基板处理设备在说明书摘要公布了：本申请属于半导体制造设备技术领域，具体涉及一种条形喷头、进气装置及基板处理设备，条形喷头的一侧设置有多个喷嘴，多个喷嘴沿条形喷头的长度方向间隔设置，从条形喷头长度方向的第一端到第二端，喷嘴的开口逐渐减小，喷嘴喷出反应气体流速逐渐增大。条形喷头应用于进气装置，进气装置应用于基板处理设备时，条形喷头的第一端相对于第二端更靠近基座中心，从基板底座的表面靠近基座中心的区域到远离基座中心的区域，喷嘴喷出反应气体束流集中程度逐渐升高，喷嘴喷出反应气体流速逐渐增大，抵消了扰流引起的反应气体束流分散程度的不同，与全部喷嘴的直径均相同的方案相比，提高了吸附在晶圆的表面的反应气体分布的均匀性，提高了产品的良率。
本实用新型条形喷头、进气装置及基板处理设备在权利要求书中公布了：1.一种条形喷头，其特征在于，所述条形喷头的一侧设置有多个喷嘴，多个所述喷嘴沿所述条形喷头的长度方向间隔设置，从所述条形喷头长度方向的第一端到第二端，所述喷嘴的开口尺寸逐渐减小。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市昇维旭技术有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市龙岗区平湖街道辅城坳社区新源三巷1号B栋104；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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