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无锡富创得智能科技有限公司冯跃跃获国家专利权

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龙图腾网获悉无锡富创得智能科技有限公司申请的专利圆晶装载平台开关门防夹保护结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224054741U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520441448.0,技术领域涉及:H10P72/00;该实用新型圆晶装载平台开关门防夹保护结构是由冯跃跃;周锐;郝铭芯;秦杰设计研发完成,并于2025-03-13向国家知识产权局提交的专利申请。

圆晶装载平台开关门防夹保护结构在说明书摘要公布了:本实用新型涉及晶圆装载设备技术领域,尤其是指一种圆晶装载平台开关门防夹保护结构,包括安装架、升降驱动单元、升降架、装载平台、前后移动单元及开合单元,所述安装架设置有装载空间,所述开合单元和装载平台分别位于装载空间的两端开口处,所述装载空间设置有防夹保护区,所述安装架安装有用于检测防夹保护区是否有异物伸入的防夹检测组件。本实用新型能够满足晶圆盒的顺利安装或卸载,便于转移或检测晶圆盒内部晶圆,防止人员误入晶圆盒内部,避免人员被挤压,避免由于人员被夹住而停机,提升生产效率。

本实用新型圆晶装载平台开关门防夹保护结构在权利要求书中公布了:1.圆晶装载平台开关门防夹保护结构,其特征在于,包括安装架1、安装于安装架1同一侧的升降驱动单元2、升降架3和装载平台4,及安装于升降架3的前后移动单元5,所述升降架3与升降驱动单元2驱动连接,所述装载平台4用于安装晶圆盒01,所述前后移动单元5驱动连接有用于夹取晶圆盒01上的盒盖02的开合单元6,所述开合单元6与装载平台4上晶圆盒01的开口侧相对,所述安装架1设置有装载空间100,所述开合单元6和装载平台4分别位于装载空间100的两端开口处,所述装载空间100设置有防夹保护区,所述安装架1安装有用于检测防夹保护区是否有异物伸入的防夹检测组件7; 当需要取走晶圆盒01上盒盖02时,晶圆盒01安装于装载平台4,所述升降驱动单元2带动升降架3向上移动至所需位置,所述前后移动单元5带动开合单元6穿过装载空间100后移动至所需位置,所述开合单元6夹取晶圆盒01上盒盖02,前后移动单元5带动开合单元6远离晶圆盒01; 当防夹检测组件7检测防夹保护区内有异物伸入时,所述升降驱动单元2和前后移动单元5停止。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人无锡富创得智能科技有限公司,其通讯地址为:214111 江苏省无锡市新吴区梅村街道梅育路100号7幢一楼东侧;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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