无锡富创得智能科技有限公司冯跃跃获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡富创得智能科技有限公司申请的专利一种圆晶装载平台开关门升降结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224054740U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520441398.6,技术领域涉及:H10P72/00;该实用新型一种圆晶装载平台开关门升降结构是由冯跃跃;周锐;郝铭芯;秦杰设计研发完成,并于2025-03-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种圆晶装载平台开关门升降结构在说明书摘要公布了:本实用新型涉及晶圆装载设备技术领域,尤其是指一种圆晶装载平台开关门升降结构,包括安装架、安装于安装架同一侧的升降驱动单元、升降架和装载平台,及安装于升降架的第一水平模组和第二水平模组,所述升降架与升降驱动单元驱动连接,所述装载平台用于安装晶圆盒并带动晶圆盒沿前后方向远离或者靠近安装架,所述第一水平模组驱动连接用于夹取晶圆盒上的盒盖的开合单元,所述开合单元与装载平台上晶圆盒的开口侧相对,所述第二水平模组驱动连接用于检测晶圆盒内部晶圆的检测件;本实用新型能够有效利用安装架的同一侧空间,降低整体升降机构的横向占据空间,便于增大存储工位,提升晶圆转移效率。
本实用新型一种圆晶装载平台开关门升降结构在权利要求书中公布了:1.一种圆晶装载平台开关门升降结构,其特征在于,包括安装架1、安装于安装架1同一侧的升降驱动单元2、升降架3和装载平台4,及安装于升降架3的第一水平模组5和第二水平模组6,所述升降架3与升降驱动单元2驱动连接,所述装载平台4用于安装晶圆盒01并带动晶圆盒01沿前后方向远离或者靠近安装架1,所述第一水平模组5驱动连接用于夹取晶圆盒01上的盒盖02的开合单元03,所述开合单元03与装载平台4上晶圆盒01的开口侧相对,所述第二水平模组6驱动连接用于检测晶圆盒01内部晶圆的检测件04; 当需要检测晶圆盒01内部晶圆时,晶圆盒01安装于装载平台4,升降驱动单元2带动升降架3向上移动至所需高度,装载平台4带动晶圆盒01靠近安装架1,所述第一水平模组5带动开合单元03靠近盒盖02,开合单元03夹取盒盖02后第一水平模组5带动开合单元03远离晶圆盒01,升降驱动单元2带动升降架3向下移动以使得检测件04对应晶圆盒01开口端,所述第二水平模组6带动检测件04靠近晶圆盒01,直至检测件04的一端伸入晶圆盒01内部,升降驱动单元2带动升降架3向下移动,使得检测件04由上至下检测晶圆盒01内部晶圆。
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