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龙图腾网获悉无锡富创得智能科技有限公司申请的专利一种晶圆盒开合装置及系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224054738U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520441286.0，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种晶圆盒开合装置及系统是由冯跃跃;周锐;郝铭芯;秦杰设计研发完成，并于2025-03-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆盒开合装置及系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体技术领域，尤其是指一种晶圆盒开合装置及系统，包括安装架、装载平台、开盒器、检测部件、升降模组、水平模组及检测组件，所述水平模组与开盒器驱动连接，所述水平模组用于带动开盒器靠近或者远离安装架，所述装载平台用于安装晶圆盒并带动晶圆盒沿前后方向靠近或者远离安装架，所述开盒器用于夹取晶圆盒上的盒盖，所述检测部件用于检测晶圆盒内部晶圆，所述检测组件用于检测晶圆盒内部晶圆是否突出；本实用新型能够顺利实现晶圆盒的装载和对晶圆的检测，便于机械手精准抓取晶圆，提升对位精度，避免晶圆露出吸附空气中的颗粒物，便于稳定晶圆性能。

本实用新型一种晶圆盒开合装置及系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆盒开合装置，其特征在于，包括设置有装载腔101的安装架1、分别位于装载腔101两端开口处的装载平台2和开盒器3、安装于开盒器3的检测部件4、安装于安装架1的升降模组、与升降模组驱动连接的水平模组6及安装于安装架1且位于装载腔101靠近开盒器3一侧的检测组件7，所述水平模组6与开盒器3驱动连接，所述水平模组6用于带动开盒器3靠近或者远离安装架1，所述装载平台2用于安装晶圆盒并带动晶圆盒沿前后方向靠近或者远离安装架1，所述开盒器3用于夹取晶圆盒上的盒盖，所述检测部件4用于检测晶圆盒内部晶圆，所述检测组件7用于检测晶圆盒内部晶圆是否突出； 当需要检测晶圆时，装有晶圆的晶圆盒安装于装载平台2，装载平台2带动晶圆盒靠近装载腔101，以使得晶圆盒上的盒盖正对检测组件7，升降模组和水平模组6带动开盒器3移动至所需位置，以使得开盒器3对应装载腔101的开口处，开盒器3夹取盒盖，水平模组6带动盒盖移动至安装架1外侧，以使得晶圆盒的开口侧露出，检测组件7检测晶圆盒内部晶圆是否突出，检测组件7检测有晶圆突出时，停止水平模组6和升降模组，人工取出突出的晶圆，检测组件7检测无晶圆突出时，升降模组带动开盒器3沿上下移动，以使得检测部件4在跟随开盒器3移动的同时同步检测晶圆盒内部晶圆； 当需要将盒盖盖合于晶圆盒的开口处时，检测组件7检测晶圆盒内部晶圆是否突出，检测组件7检测有晶圆突出时，人工取出突出的晶圆，检测组件7检测无晶圆突出时，升降模组带动开盒器3移动至所需高度，水平模组6带动开盒器3和盒盖穿入装载腔101，以使得盒盖盖合于晶圆盒的开口处。

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