无锡富创得智能科技有限公司冯跃跃获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡富创得智能科技有限公司申请的专利一种晶圆盒装载系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224054737U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520441161.8,技术领域涉及:H10P72/00;该实用新型一种晶圆盒装载系统是由冯跃跃;周锐;郝铭芯;秦杰设计研发完成,并于2025-03-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆盒装载系统在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体技术领域,尤其是指一种晶圆盒装载系统,包括安装架、安装于安装架的装载平台和开盒器、安装于开盒器的检测部件、安装于安装架的升降模组及与升降模组驱动连接的水平模组,所述水平模组与开盒器驱动连接,所述开盒器用于夹取晶圆盒上的盒盖,所述检测部件用于检测晶圆盒内部晶圆,当晶圆盒安装于装载平台时,晶圆盒的开口侧与开盒器对应;所述安装架设置有装载空间,所述装载平台和开盒器分别位于装载空间的两侧,所述装载平台用于安装晶圆盒并带动晶圆盒沿前后方向靠近或远离安装架;本实用新型能够顺利实现晶圆盒的装载和对晶圆的检测,利于装载和运输较大的基板,便于符合扇出型面板级封装的需求。
本实用新型一种晶圆盒装载系统在权利要求书中公布了:1.一种晶圆盒装载系统,其特征在于,包括安装架1、安装于安装架1的装载平台2和开盒器3、安装于开盒器3的检测部件4、安装于安装架1的升降模组5及与升降模组5驱动连接的水平模组6,所述水平模组6与开盒器3驱动连接,所述开盒器3用于夹取晶圆盒上的盒盖,所述检测部件4用于检测晶圆盒内部晶圆,当晶圆盒安装于装载平台2时,晶圆盒的开口侧与开盒器3对应; 所述安装架1设置有装载空间101,所述装载平台2和开盒器3分别位于装载空间101的两侧,所述装载平台2用于安装晶圆盒并带动晶圆盒沿前后方向靠近或远离安装架1; 当需要检测晶圆时,装有晶圆的晶圆盒安装于装载平台2,装载平台2带动晶圆盒靠近安装架1,以使得晶圆盒移动至所需位置,升降机构带动开盒器3移动至所需高度,水平模组6带动开盒器3靠近装载空间101,以使得开合器的一端配合插入装载空间101;开盒器3夹取晶圆盒上盒盖,水平模组6带动开盒器3远离晶圆盒到所需位置处,以使得晶圆盒的开口侧露出,升降机构带动开盒器3沿上下方向移动,以使得检测部件4在跟随开盒器3移动的同时同步检测晶圆盒内部的晶圆。
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