苏州德龙激光股份有限公司赵裕兴获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州德龙激光股份有限公司申请的专利晶圆扩膜装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224054733U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520629686.4，技术领域涉及：H10P58/00；该实用新型晶圆扩膜装置是由赵裕兴;王乾宝设计研发完成，并于2025-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆扩膜装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种晶圆扩膜装置，包括扩膜载台外圈组件、扩膜载台内圈组件、扩膜往复压紧组件和晶圆扩膜顶升执行机构，晶圆扩膜顶升执行机构驱动上方中部的扩膜载台外圈组件在竖直方向上移动，在扩膜载台外圈组件的内圈安装有扩膜载台内圈组件。本实用新型提供了一种晶圆扩膜装置，能够实现全自动扩膜，实现die间隙合理分开，方便后续工序。
本实用新型晶圆扩膜装置在权利要求书中公布了：1.晶圆扩膜装置，其特征在于：包括扩膜载台外圈组件2、扩膜载台内圈组件3、扩膜往复压紧组件4和晶圆扩膜顶升执行机构6，所述晶圆扩膜顶升执行机构6驱动上方中部的扩膜载台外圈组件2在竖直方向上移动，在所述扩膜载台外圈组件2的内圈安装有扩膜载台内圈组件3； 所述晶圆扩膜顶升执行机构6从上往下依次包括执行平板601、丝杆连接板618和底部连接板616，所述执行平板601通过若干个支撑立柱609与下方的底部连接板616连接在一起，通过电机固定块613和若干个电机连接轴615安装在所述底部连接板616底部中部的电机612顶部的驱动端通过联轴器614与丝杆617相连接，所述丝杆617通过丝杆螺母带动丝杆连接板618在竖直方向上移动，所述丝杆连接板618通过若干个提升底盘导向轴605与位于执行平板601上方的提升底盘604相连接，所述提升底盘604与上方的扩膜载台外圈组件2相连接； 所述扩膜往复压紧组件4包括位于扩膜载台外圈组件2上方外侧且可左右移动的钢环支架406。
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