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昆山麦普恩精密组件有限公司盛泽奎获国家专利权

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龙图腾网获悉昆山麦普恩精密组件有限公司申请的专利一种半导体真空设备腔体衬里结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224053134U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520643614.5,技术领域涉及:H01J37/32;该实用新型一种半导体真空设备腔体衬里结构是由盛泽奎;李鹏;郭程栋;刘宏健设计研发完成,并于2025-04-08向国家知识产权局提交的专利申请。

一种半导体真空设备腔体衬里结构在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种半导体真空设备腔体衬里结构,涉及半导体真空设备腔体衬里技术领域,包括真空设备主体,所述真空设备主体上铰接设置有设备箱门,其特征在于,所述真空设备主体的内部活动设置有两个内衬板一,两个所述内衬板一上均设置有两个固定件,且固定件设置在真空设备主体上,两个所述内衬板一上均滑动设置有内衬板二,且设备箱门与内衬板一、内衬板二相贴合,两个所述内衬板二的表面上均设置有两个固定板一,四个所述固定板一上设置有两个螺栓一,两个所述内衬板一与内衬板二的表面上均设置有耐腐蚀层,两个所述耐腐蚀层上均设置有耐高温层,本实用新型,从而便于内衬板一与内衬板二在真空设备腔体内安装拆卸,操作简单,实用性强。

本实用新型一种半导体真空设备腔体衬里结构在权利要求书中公布了:1.一种半导体真空设备腔体衬里结构,包括真空设备主体1,所述真空设备主体1上铰接设置有设备箱门2,其特征在于,所述真空设备主体1的内部活动设置有两个内衬板一3,两个所述内衬板一3上均设置有两个固定件9,且固定件9设置在真空设备主体1上,两个所述内衬板一3上均滑动设置有内衬板二6,且设备箱门2与内衬板一3、内衬板二6相贴合,两个所述内衬板二6的表面上均设置有两个固定板一7,四个所述固定板一7上设置有两个螺栓一8,两个所述内衬板一3与内衬板二6的表面上均设置有耐腐蚀层,两个所述耐腐蚀层上均设置有耐高温层。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人昆山麦普恩精密组件有限公司,其通讯地址为:215316 江苏省苏州市玉山镇水秀路1415号7号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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