珠海市骏逸电子科技有限公司罗弦获国家专利权
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龙图腾网获悉珠海市骏逸电子科技有限公司申请的专利一种可对硅片均匀施压的等离子处理设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224053133U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520854865.8，技术领域涉及：H01J37/18；该实用新型一种可对硅片均匀施压的等离子处理设备是由罗弦设计研发完成，并于2025-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可对硅片均匀施压的等离子处理设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开提供了一种可对硅片均匀施压的等离子处理设备，包括等离子处理器主体，所述等离子处理器主体的内置射频电源，所述等离子处理器主体的内部设置有真空仓体，且真空仓体的一端活动安装有仓门，所述真空仓体的一侧连接有第一连接框，且第一连接框的一侧连接有第二连接框，所述第二连接框一侧外表面连通有两组分流管和抽真管，该实用新型通过多组抽气管口，抽真管和分流管对真空仓体进行高效抽真空，迅速降低仓体内部的气压，为后续的等离子处理创造理想的真空环境。且多组抽气管口分布在真空仓体的内部各个位置，形成了全方位、无死角的气体管理系统，确保真空仓体内部的气体有效地抽出，从而进行均匀的施压。
本实用新型一种可对硅片均匀施压的等离子处理设备在权利要求书中公布了：1.一种可对硅片均匀施压的等离子处理设备，包括等离子处理器主体1，所述等离子处理器主体1的内置射频电源，其特征在于：所述等离子处理器主体1的内部设置有真空仓体4，且真空仓体4的一端活动安装有仓门3，所述真空仓体4的一侧连接有第一连接框5，且第一连接框5的一侧连接有第二连接框6，所述第二连接框6一侧外表面连通有两组分流管8和抽真管7，且两组分流管8与抽真管7的外表面互相连接，所述抽真管7用于连接真空泵，所述第一连接框5的一侧设置有固定板111，且固定板111的外表面设置有多组抽气管口112。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人珠海市骏逸电子科技有限公司，其通讯地址为：519000 广东省珠海市金湾区三灶镇定湾二路55号1厂房第7层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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