上海芯立电子科技有限公司秦宝宏获国家专利权
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龙图腾网获悉上海芯立电子科技有限公司申请的专利一种具备自动校准功能的高精度光刻机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224052551U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520741220.3，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种具备自动校准功能的高精度光刻机是由秦宝宏;辛奇;杨军;文冬;闫乐成设计研发完成，并于2025-04-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具备自动校准功能的高精度光刻机在说明书摘要公布了：本实用新型涉及光刻机技术领域，本实用新型提供了一种具备自动校准功能的高精度光刻机，包括：光刻机主体，光源系统，投影物镜系统，晶圆台，自动校准系统和控制系统。这种具备自动校准功能的高精度光刻机，通过其各部分的协同作用和精心设计，不仅在结构上具备稳定性和可靠性，而且在功能上实现了对光刻过程的高度精确控制和灵活调节。它能够适应不同的光刻需求和工作场景，极大地提高了光刻的质量、效率和适应性。
本实用新型一种具备自动校准功能的高精度光刻机在权利要求书中公布了：1.一种具备自动校准功能的高精度光刻机，其特征在于，包括： 光刻机主体1，其为整个装置的外壳； 光源系统2，安装在光刻机主体1的顶部； 投影物镜系统3，设置在光刻机主体1的中部，所述投影物镜系统3包括多个透镜组31，所述透镜组31从上至下依次排列； 晶圆台4，设置在光刻机主体1内底部，所述晶圆台4底部安装有x-y轴向电动导轨41； 自动校准系统5，安装在光刻机主体1内部，所述自动校准系统5包括位置校准模块51、焦距校准模块52和曝光量校准模块53，所述位置校准模块51安装在所述光刻机主体1内部后方和两侧内壁上，所述焦距校准模块52安装在所述投影物镜系统3的下方，所述曝光量校准模块53安装在光源系统2前侧； 控制系统6，设置在外、光刻机主体1外的右侧。
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