上海芯立电子科技有限公司胡凯获国家专利权
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龙图腾网获悉上海芯立电子科技有限公司申请的专利一种光刻机用多层膜反射镜校准机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224052550U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520695267.0，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种光刻机用多层膜反射镜校准机构是由胡凯;杨军;文冬;闫乐成设计研发完成，并于2025-04-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻机用多层膜反射镜校准机构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及光学器件领域，公开了一种光刻机用多层膜反射镜校准机构，包括滑轨座，所述滑轨座的内部活动连接有调节丝杆，所述调节丝杆的外部安装有丝杆滑套，所述丝杆滑套的顶端固定连接有支撑板，所述支撑板的顶端固定安装有安装座，所述安装座的内部设置有预留槽，所述预留槽的内部安装有第二电机，所述第二电机的输出端安装有支撑轴。该光刻机用多层膜反射镜校准机构通过第三电机可驱动滑轨座上的丝杆滑套移动从而带动校准板左右水平调节，第一电机可调节校准板的纵向旋转角度，第二电机可驱动校准板的横向旋转角度，校准板位移和角度调节时，电容传感器可精准检测校准板的调节角度和位置，解决了校准效果不佳问题。
本实用新型一种光刻机用多层膜反射镜校准机构在权利要求书中公布了：1.一种光刻机用多层膜反射镜校准机构，包括滑轨座1，其特征在于：所述滑轨座1的内部活动连接有调节丝杆2，所述调节丝杆2的外部安装有丝杆滑套13，所述丝杆滑套13的顶端固定连接有支撑板3，所述支撑板3的顶端固定安装有安装座4，所述安装座4的内部设置有预留槽22，所述预留槽22的内部安装有第二电机12，所述第二电机12的输出端安装有支撑轴19，所述支撑轴19的顶端固定连接有安装法兰11，所述安装法兰11的顶端安装有支撑架5，所述支撑架5的内部活动安装有校准板6，所述校准板6的内部安装有反射镜片8，所述校准板6的顶端安装有电容传感器9，所述支撑架5的右侧安装有第一电机10，所述滑轨座1的两侧固定连接有安装板14，所述安装板14上安装有第三电机23。
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