芯恩(青岛)集成电路有限公司张学杰获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利晶圆载台及装载锁定装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224052050U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520772697.8，技术领域涉及：G01N23/2204；该实用新型晶圆载台及装载锁定装置是由张学杰设计研发完成，并于2025-04-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆载台及装载锁定装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆载台及装载锁定装置，包括：平台本体、至少一对探针以及检测机构，平台本体设有若干个穿孔，所述探针与所述穿孔一一对应设置，所述探针设于对应的所述穿孔内且可竖向移动调节，所述探针用于承托晶圆。检测机构分别与所述至少一对探针连接，所述检测机构用于向所述探针输送电流并检测每对所述探针之间的电势差，以判断所述晶圆表面的颗粒情况。本实用新型根据所述检测机构检测到的电势差可以判断所述探针对应的晶圆表面区域的颗粒情况，从而可以及时地检测出晶圆表面是否存在能够在CDSEM量测时产生电火花的粉尘颗粒，避免晶圆因短路打火而报废。
本实用新型晶圆载台及装载锁定装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆载台，其特征在于，包括： 平台本体，设有若干个穿孔； 至少一对探针，所述探针与所述穿孔一一对应设置，所述探针设于对应的所述穿孔内且可竖向移动调节，所述探针用于承托晶圆； 检测机构，分别与所述至少一对探针连接，所述检测机构用于向所述探针输送电流并检测每对所述探针之间的电势差，以判断所述晶圆表面的颗粒情况。
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