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深圳市智博发科技有限公司张天柱获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳市智博发科技有限公司申请的专利一种集成电路芯片缺陷检测装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224052032U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520751048.X,技术领域涉及:G01N21/95;该实用新型一种集成电路芯片缺陷检测装置是由张天柱;李会朋;邬欢;关畅;温森荣设计研发完成,并于2025-04-19向国家知识产权局提交的专利申请。

一种集成电路芯片缺陷检测装置在说明书摘要公布了:本实用新型提出了一种集成电路芯片缺陷检测装置,属于芯片质量检测技术领域。所述集成电路芯片缺陷检测装置,包括综合组件、检测组件以及圆晶,综合组件作为整体框架用于对圆晶进行吸附调节固定的同时对圆晶各处温度变化进行监控,综合组件内部固定连接有分隔板,检测组件安装在分隔板外部并处于综合组件中心上侧部位,检测组件用于对圆晶表面进行光学反射检测,通过反射光变化对缺陷处进行标记。本实用新型具有可以在进行光学检测时通过负压吸附进行即时固定,同时对因光学检测造成的升温变化实时监测,减少圆晶的整体晃动,可以通过红外光照射在圆晶表面进行反射接收检测,以此测试圆晶表面形状变化的优点。

本实用新型一种集成电路芯片缺陷检测装置在权利要求书中公布了:1.一种集成电路芯片缺陷检测装置,包括综合组件1、检测组件2以及圆晶3,其特征在于,所述综合组件1作为整体框架用于对圆晶3进行吸附调节固定的同时对圆晶3各处温度变化进行监控,所述综合组件1内部固定连接有分隔板101,所述检测组件2安装在分隔板101外部并处于综合组件1中心上侧部位,所述检测组件2用于对圆晶3表面进行光学反射检测,通过反射光变化对缺陷处进行标记。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳市智博发科技有限公司,其通讯地址为:518000 广东省深圳市龙华区龙华街道清华社区梅龙大道2203号大唐时代商业综合楼B栋14层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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