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龙图腾网获悉广东三姆森科技股份有限公司申请的专利基于暗场和光致发光的晶圆缺陷多通道检测系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224052027U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520058710.3，技术领域涉及：G01N21/95；该实用新型基于暗场和光致发光的晶圆缺陷多通道检测系统是由张庆祥;陈英滔;谭辉;尚建宇;刘华峰;侯罗海;李依琳;潘冠健设计研发完成，并于2025-01-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于暗场和光致发光的晶圆缺陷多通道检测系统在说明书摘要公布了：本实用新型属于晶圆检测技术领域，具体涉及一种基于暗场和光致发光的晶圆缺陷多通道检测系统，包括：向晶圆表面发射光源的光源模块、用于在暗场成像光路中对晶圆凸起缺陷进行成像检测的第一光学功能模块、在暗场成像光路中对晶圆凹坑缺陷进行成像检测的第二光学功能模块、收集第一波段的光进行成像检测的第三光学功能模块、收集第二波段的光进行成像检测的第四光学功能模块。通过设置一个光源模块发射光源，并利用不同的光学模块，实现暗场和光致发光的晶圆缺陷多通道采集检测，提高了系统的检测效率和检测能力；且能够实现不同波段光的同时成像，便于区分不同的晶圆缺陷种类；整个装置光路集成度高，节约工件，结构简单，且便于检测。

本实用新型基于暗场和光致发光的晶圆缺陷多通道检测系统在权利要求书中公布了：1.一种基于暗场和光致发光的晶圆缺陷多通道检测系统，其特征在于，包括： 光源模块，其沿第一方向设置，用于向晶圆表面发射光源； 第一光学功能模块，其包括沿第三方向依次设置的滤光片、第一物镜、第一筒镜和第一相机，用于在暗场成像光路中对晶圆凸起缺陷进行成像检测； 第二光学功能模块，其包括第二物镜、第一二向色镜、第二筒镜和第二相机，用于在暗场成像光路中对晶圆凹坑缺陷进行成像检测； 第三光学功能模块，其包括第二物镜、第一二向色镜、第二二向色镜、第三筒镜和第三相机，用于在光致发光光路中收集第一波段的光进行成像检测； 第四光学功能模块，其包括沿第四方向依次设置的第二物镜、第一二向色镜、第二二向色镜、第四筒镜和第四相机，用于在光致发光光路中收集第二波段的光进行成像检测； 所述第一二向色镜、所述第二筒镜、所述第二相机沿第二方向依次设置；所述第二二向色镜、所述第三筒镜、所述第三相机沿第二方向依次设置；所述第一方向、所述第二方向、所述第三方向和所述第四方向沿逆时针方向排列，所述第一方向与所述第二方向的夹角为锐角，所述第二方向和所述第四方向垂直。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人广东三姆森科技股份有限公司，其通讯地址为：523000 广东省东莞市长安镇上沙中南南路6号12号楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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