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麦斯克电子材料股份有限公司赵智超获国家专利权

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龙图腾网获悉麦斯克电子材料股份有限公司申请的专利一种八吋外延硅片的目检检测装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224052001U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520557399.7,技术领域涉及:G01N21/88;该实用新型一种八吋外延硅片的目检检测装置是由赵智超;李战国;张艺杰;仝泉设计研发完成,并于2025-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。

一种八吋外延硅片的目检检测装置在说明书摘要公布了:一种八吋外延硅片的目检检测装置,包括检测台以及设置在检测台上的目检台、第一硅片架、第二硅片架以及机械臂;第一硅片架用于盛放待检硅片,第二硅片架用于盛放检后硅片,机械臂用于将第一硅片架上的待检硅片置于目检台上,并将目检台上的检后硅片置于第二硅片架上;目检台包括仰俯盘和转盘,仰俯盘铰接连接在目检台上,并能够在外力驱动下前后仰俯摆动,转盘转动设置在仰俯盘上,并能够在外力驱动下转动,在转盘上开设有用于放置硅片的片槽。本实用新型便于检测人员实施目检,且降低硅片划伤风险。

本实用新型一种八吋外延硅片的目检检测装置在权利要求书中公布了:1.一种八吋外延硅片的目检检测装置,其特征在于:包括检测台3以及设置在检测台3上的目检台2、第一硅片架1、第二硅片架4以及机械臂5;第一硅片架1用于盛放待检硅片6,第二硅片架4用于盛放检后硅片6,机械臂5用于将第一硅片架1上的待检硅片6置于目检台2上,并将目检台2上的检后硅片6置于第二硅片架4上;目检台2包括仰俯盘203和转盘208,仰俯盘203铰接连接在目检台2上,并能够在外力驱动下前后仰俯摆动,转盘208转动设置在仰俯盘203上,并能够在外力驱动下转动,在转盘208上开设有用于放置硅片6的片槽206。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人麦斯克电子材料股份有限公司,其通讯地址为:471000 河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号北侧洛阳综合保税区;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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