江苏容方半导体科技有限公司刘武获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏容方半导体科技有限公司申请的专利一种碳化硅外延生长装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224047583U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520804821.4，技术领域涉及：C30B29/36；该实用新型一种碳化硅外延生长装置是由刘武;张聂设计研发完成，并于2025-04-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种碳化硅外延生长装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种碳化硅外延生长装置，包括处理罐，处理罐内部开设有加工槽，处理罐顶部侧壁中间开设有插槽，处理罐上方设立有盖板，盖板的一端侧壁固定连接有联动板，处理罐的一侧外壁固定连接有固定块，固定块顶部中间可拆卸式镶嵌连接有伸缩杆，伸缩杆的输出端可拆卸式连接在联动板的底部侧壁上，盖板与处理罐相对且与插槽对应的位置固定连接有插块，本实用新型具有以下优点：在盖板盖在处理罐上时固定在盖板上的插块也会同步插进插槽内，然后通过输气管对插块内输入气体，随着气压的增加膨胀壁会向外顶出，最后膨胀壁会插进侧边槽内，以此增加盖板闭合后的稳定性，同时通过这种方式还能增加盖板与处理罐闭合后的密封性。
本实用新型一种碳化硅外延生长装置在权利要求书中公布了：1.一种碳化硅外延生长装置，包括处理罐1，其特征在于，所述处理罐1内部开设有加工槽2，所述处理罐1顶部侧壁中间开设有插槽3，所述处理罐1上方设立有盖板4，所述盖板4的一端侧壁固定连接有联动板6，所述处理罐1的一侧外壁固定连接有固定块7，所述固定块7顶部中间可拆卸式镶嵌连接有伸缩杆8，所述伸缩杆8的输出端可拆卸式连接在联动板6的底部侧壁上，所述盖板4与处理罐1相对且与插槽3对应的位置固定连接有插块10。
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