深圳市昇维旭技术有限公司赵红运获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市昇维旭技术有限公司申请的专利一种外延设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224047581U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520794505.3，技术领域涉及：C30B25/16；该实用新型一种外延设备是由赵红运;丁宇;曲丽娜设计研发完成，并于2025-04-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种外延设备在说明书摘要公布了：一种外延设备，包括：反应腔室；设置于反应腔室中的基座，基座用于承载晶圆；第一测温装置，包括光电探测器、入射孔径调节器以及位于光电探测器和入射孔径调节器之间的光路系统，入射孔径调节器用于调节光路系统的入射孔径，光电探测器用于检测经光路系统收集的基座热辐射总强度，第一测温装置的读数根据总强度确定；加热装置，用于对晶圆进行加热；控制器，与第一测温装置和加热装置连接，控制器能够根据第一测温装置的读数控制加热装置加热晶圆，以使第一测温装置的读数按照预设温度变化率变化。该外延设备设置有入射孔径调节器，能够调节光路系统的入射孔径，从而调节反应腔室内部的温度变化速率。
本实用新型一种外延设备在权利要求书中公布了：1.一种外延设备，其特征在于，包括： 反应腔室； 设置于所述反应腔室中的基座，所述基座用于承载晶圆； 第一测温装置，包括光电探测器、入射孔径调节器以及位于所述光电探测器和所述入射孔径调节器之间的光路系统，所述入射孔径调节器用于调节所述光路系统的入射孔径，所述光电探测器用于检测经所述光路系统收集的所述基座热辐射总强度，所述第一测温装置的读数根据所述总强度确定； 加热装置，用于对所述晶圆进行加热； 控制器，与所述第一测温装置和所述加热装置连接，所述控制器能够根据所述第一测温装置的读数控制所述加热装置加热所述晶圆，以使所述第一测温装置的读数按照预设温度变化率变化。
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