江苏容方半导体科技有限公司方彦斌获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏容方半导体科技有限公司申请的专利一种碳化硅外延生长反应室获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224047580U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520804823.3,技术领域涉及:C30B25/08;该实用新型一种碳化硅外延生长反应室是由方彦斌;刘挺设计研发完成,并于2025-04-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种碳化硅外延生长反应室在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种碳化硅外延生长反应室,包括反应室,反应室一端可拆卸式连接有盖板,盖板的一侧设立有一对连接盘,两个连接盘为半圆形结构,连接盘内开设有插槽,连接盘上可拆卸式连接有外围板,外围板底部侧壁中间固定连接有基底,外围板内顶部侧壁中间固定连接连接柱,外围板通过连接柱与连接盘可拆卸式连接,本实用新型具有以下优点:需要时按压活动把手向下,这样就能将延伸进通孔内的延伸柱顶回活动槽内,以此将滑块向外驱动,从而带动连接盘向外展开,这样就能将连接柱从插槽内脱出,以此实现外围板的拆卸,通过这种方式能很方便的将外围板从盖板上卸下,且拆卸过程中不会对晶柱造成磨损。
本实用新型一种碳化硅外延生长反应室在权利要求书中公布了:1.一种碳化硅外延生长反应室,包括反应室1,其特征在于,所述反应室1一端可拆卸式连接有盖板4,所述盖板4的一侧设立有一对连接盘7,两个所述连接盘7为半圆形结构,所述连接盘7内开设有插槽8,所述连接盘7上可拆卸式连接有外围板5,所述外围板5底部侧壁中间固定连接有基底16,所述外围板5内顶部侧壁中间固定连接连接柱15,所述外围板5通过连接柱15与连接盘7可拆卸式连接。
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