江苏容方半导体科技有限公司刘武获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏容方半导体科技有限公司申请的专利一种硅外延炉冷却水流量预警装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224047579U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520804825.2，技术领域涉及：C30B25/02；该实用新型一种硅外延炉冷却水流量预警装置是由刘武;张聂设计研发完成，并于2025-04-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅外延炉冷却水流量预警装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种硅外延炉冷却水流量预警装置，包括管道，管道一侧侧壁固定连接有测量管，测量管延伸进管道内的一端侧壁中间穿插连接有随动柱，随动柱的一端固定连接有接触板，接触板的一侧设立有贴合盘，管道内且靠近测量管的侧壁通过扭簧转动连接有受力板，受力板的一侧侧壁连接有压力传感器，本实用新型具有以下优点：当管道内的冷却液流动时其会冲击在受力板上，通过冷却液的冲击会将受力板向外顶，这样就能带动联动板和随动柱同步移动，以此对接触板的位置进行控制，当流量过小受力板会在扭簧的作用下回转，这样接触板就会受到随动柱的推力移动，当随动柱和接触板贴合就会触发警报，从而提醒工作人员进行调整。
本实用新型一种硅外延炉冷却水流量预警装置在权利要求书中公布了：1.一种硅外延炉冷却水流量预警装置，包括管道1，其特征在于，所述管道1一侧侧壁固定连接有测量管2，所述测量管2延伸进管道1内的一端侧壁中间穿插连接有随动柱8，所述随动柱8的一端固定连接有接触板9，所述接触板9的一侧设立有贴合盘10，所述管道1内且靠近测量管2的侧壁通过扭簧转动连接有受力板6，所述受力板6的一侧侧壁连接有压力传感器17，所述管道1内壁均匀的固定连接有调节板15，所述调节板15中间贯通开设有锥形槽。
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