东海县康铁石英制品有限公司徐南获国家专利权
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龙图腾网获悉东海县康铁石英制品有限公司申请的专利一种带有内涂层的石英管制备装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224047504U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520783931.7,技术领域涉及:C23C16/44;该实用新型一种带有内涂层的石英管制备装置是由徐南设计研发完成,并于2025-04-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种带有内涂层的石英管制备装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及石英管制备技术领域,具体为一种带有内涂层的石英管制备装置,包括反应箱,反应箱包括外壳和反应室,外壳和反应室之间设有加热组件,反应室内设有可移动的装载小车,装载小车内设有若干个石英管的装载腔,反应室底壁上设有用于引导装载小车运动的导轨组件,反应室两端分别设有供装载小车进出的推车进口和推车出口,推车进口和推车出口处均设有密封门体,反应室下部设有抽真空组件,反应室上还设有惰性气体管路和有机气体管路。石英管被装载小车批量固定在反应室内,经加热组件加热到指定温度,同步完成多个石英管内壁涂层的生成,装载小车将石英管批量装载和卸载,节约能源,实现石英管批量镀膜。
本实用新型一种带有内涂层的石英管制备装置在权利要求书中公布了:1.一种带有内涂层的石英管制备装置,其特征在于:包括反应箱,反应箱包括外壳105和反应室1,外壳和反应室之间设有加热组件,反应室内设有可移动的装载小车4,装载小车内设有若干个石英管的装载腔,反应室底壁上设有用于引导装载小车运动的导轨组件2,反应室两端分别设有供装载小车进出的推车进口和推车出口,推车进口和推车出口处均设有密封门体,反应室下部设有抽真空组件107,反应室上还设有惰性气体管路103和有机气体管路104。
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