江苏微导纳米科技股份有限公司向贵鑫获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利薄膜沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224047503U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520324200.6，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型薄膜沉积设备是由向贵鑫;杨德赞;王新征;周保忠设计研发完成，并于2025-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本薄膜沉积设备在说明书摘要公布了：本申请的实施例提供一种薄膜沉积设备，包括：腔体、抽气管路、等离子清洁组件。其中，腔体包括第一腔体和第二腔体；抽气管路包括第一抽气管路和第二抽气管路，第一抽气管路连接第一腔体，第二抽气管路连接第二腔体；等离子体清洁组件分别连接第一抽气管路和第二抽气管路，等离子体清洁组件用于清洁第一抽气管路和第二抽气管路。本申请提供的薄膜沉积设备，不仅使第一清洁管路和第二清洁管路距离抽气管路距离变短，并且使第一清洁管路和第二清洁管路与抽气管路笔直设置并在连接处倒圆角，减少了弯角和阻碍，缩短了等离子体到达控制阀的距离，从而可以更好的清理抽气管路。
本实用新型薄膜沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种薄膜沉积设备，其特征在于，包括： 腔体，所述腔体包括第一腔体和第二腔体； 抽气管路，所述抽气管路包括第一抽气管路和第二抽气管路，所述第一抽气管路连接所述第一腔体，所述第二抽气管路连接所述第二腔体； 等离子体清洁组件，所述等离子体清洁组件分别连接所述第一抽气管路和第二抽气管路，所述等离子体清洁组件用于清洁所述第一抽气管路和所述第二抽气管路。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏微导纳米科技股份有限公司，其通讯地址为：214028 江苏省无锡市新吴区长江南路27号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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