中山凯旋真空科技股份有限公司杨诗锋获国家专利权
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龙图腾网获悉中山凯旋真空科技股份有限公司申请的专利溅射镀膜机载具传输系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224047499U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520681421.9，技术领域涉及：C23C14/34；该实用新型溅射镀膜机载具传输系统是由杨诗锋;吴溢华;彭中业;罗松海设计研发完成，并于2025-04-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本溅射镀膜机载具传输系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种溅射镀膜机载具传输系统，包括第一转架组件、第二转架组件、载具及转移组件，转移组件设于第一转架组件和第二转架组件之间，转移组件包括机械手及设于机械手的取件臂；第一转架组件的周向设置有多个用于放置载具的第一载具放置组件；第二转架组件的周向设置有多个用于放置载具的第二载具放置组件；机械手能够带动取件臂在第一转架组件和第二转架组件之间移动，取件臂能够从第一转架组件和第二转架组件取放载具，机械手配合取件臂对第一转架组件及第二转架组件的载具进行互换，从而实现连续的镀膜加工作业，提高生产效率，且减少人工作业或人工作业区域与镀膜腔具有一定距离，具有较高的安全性。
本实用新型溅射镀膜机载具传输系统在权利要求书中公布了：1.一种溅射镀膜机载具传输系统，其特征在于，包括： 第一转架组件100，所述第一转架组件100设于镀膜腔101外； 第二转架组件200，所述第二转架组件200设于镀膜腔101内； 载具900，所述载具900用于装载工件； 转移组件，所述转移组件设于所述第一转架组件100和所述第二转架组件200之间，所述转移组件包括机械手300及设于所述机械手300的取件臂400； 其中，所述第一转架组件100的周向设置有多个用于放置所述载具900的第一载具放置组件130； 所述第二转架组件200的周向设置有多个用于放置所述载具900的第二载具放置组件230； 所述机械手300能够带动所述取件臂400在所述第一转架组件100和所述第二转架组件200之间移动，所述取件臂400能够从所述第一转架组件100和所述第二转架组件200取放所述载具900。
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