广东森丰薄膜科技股份有限公司陆作军获国家专利权
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龙图腾网获悉广东森丰薄膜科技股份有限公司申请的专利一种集成有冷却结构的镀膜靶机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224047496U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520731123.6，技术领域涉及：C23C14/24；该实用新型一种集成有冷却结构的镀膜靶机构是由陆作军;汪达文设计研发完成，并于2025-04-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种集成有冷却结构的镀膜靶机构在说明书摘要公布了：本申请属于真空镀膜领域，特别涉及到了一种集成有冷却结构的镀膜靶机构，该镀膜靶机构包括：固定主体；镀膜靶架；镀膜靶组件，所述镀膜靶组件包括有镀膜靶、第一靶头、第二靶头；用于输入输出冷却液的冷却组件，所述冷却组件设置有进液通道和出液通道，所述冷却组件设置于所述固定主体另一侧，并穿过所述固定主体以与所述镀膜靶架连接，且所述出液通道和进液通道与拆装位上的镀膜靶接通。在本实用新型中，该镀膜靶机构集成有冷却组件，能有效控制温度，保证薄膜质量和性能，还能延长设备使用寿命，降低维护成本。
本实用新型一种集成有冷却结构的镀膜靶机构在权利要求书中公布了：1.一种集成有冷却结构的镀膜靶机构，其特征在于，该镀膜靶机构包括： 固定主体； 镀膜靶架，所述镀膜靶架设置于固定主体一侧，所述镀膜靶架两端分别设置有第一拆装件和第二拆装件，所述第一拆装件和第二拆装件之间形成有拆装位； 镀膜靶组件，所述镀膜靶组件包括有镀膜靶、第一靶头、第二靶头，所述镀膜靶两端分别与第一靶头和第二靶头可旋转式连接，所述第一靶头和第二靶头分别设置在第一拆装件和第二拆装件上，以使所述镀膜靶安装于所述拆装位内； 用于输入输出冷却液的冷却组件，所述冷却组件设置有进液通道和出液通道，所述冷却组件设置于所述固定主体另一侧，并穿过所述固定主体以与所述镀膜靶架连接，且所述出液通道和进液通道与拆装位上的镀膜靶接通。
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