仁烁光能(苏州)有限公司;仁烁光能(常熟)有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉仁烁光能(苏州)有限公司;仁烁光能(常熟)有限公司申请的专利一种坩埚和外置源的连接装置及包括其的蒸镀装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224047495U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520350824.5，技术领域涉及：C23C14/24；该实用新型一种坩埚和外置源的连接装置及包括其的蒸镀装置是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种坩埚和外置源的连接装置及包括其的蒸镀装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种坩埚和外置源的连接装置及包括其的蒸镀装置，所述连接装置的坩埚结构通过加热管路连接外置源结构；坩埚结构包括坩埚本体；外置源结构包括由内向外依次套设的第一筒体和第二筒体，且第二筒体的一端设置有密封法兰，加热管路的一端贯穿密封法兰且设置在第一筒体内，加热管路的另一端设置有分支管路，且每条分支管路贯穿设置在每个通孔内；第一筒体的外壁周向设置有加热组件。本实用新型将线性内置源蒸发改成外置源结构，在更换蒸发源时无需进行加热腔体降温、频繁抽真空和破真空过程，可以将设备运行稼动率提高10％以上；且原材料在专有外置源结构内受热均匀的同时，也保障气体在坩埚结构喷出的均匀性。
本实用新型一种坩埚和外置源的连接装置及包括其的蒸镀装置在权利要求书中公布了：1.一种坩埚和外置源的连接装置，其特征在于，所述连接装置包括坩埚结构和外置源结构，所述坩埚结构通过加热管路连接所述外置源结构； 所述坩埚结构包括坩埚本体，所述坩埚本体上均布有若干个通孔； 所述外置源结构包括由内向外依次套设的第一筒体和第二筒体，且所述第二筒体的一端设置有密封法兰，所述加热管路的一端贯穿所述密封法兰且设置在所述第一筒体内，所述加热管路的另一端设置有若干条分支管路，若干条所述分支管路对应若干个所述通孔设置，且每条所述分支管路贯穿设置在每个所述通孔内； 所述第一筒体的外壁周向设置有加热组件，用于加热所述第一筒体内的蒸发材料。
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