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上海大族富创得科技股份有限公司陈垒获国家专利权

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龙图腾网获悉上海大族富创得科技股份有限公司申请的专利一种晶圆盒放置平台获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224046245U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520422110.0,技术领域涉及:B65G35/00;该实用新型一种晶圆盒放置平台是由陈垒;付志宇;吴沃祖;秦承伟设计研发完成,并于2025-03-12向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆盒放置平台在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体技术领域,尤其是指一种晶圆盒放置平台,包括底座、与底座滑动连接的运输架及用于驱动运输架靠近或者远离底座的平移驱动单元;所述底座设置有多个加工槽;所述运输架设置有与所述加工槽对应的取放口以贯穿运输架的缺口,所述取放口与缺口连通;本实用新型使得晶圆盒的取放和晶圆加工能够同步并行工作,利于保证晶圆可以得到精确和稳定的工艺处理,保障晶圆的质量和性能。

本实用新型一种晶圆盒放置平台在权利要求书中公布了:1.一种晶圆盒放置平台,其特征在于,包括底座1、与底座1滑动连接的运输架2及用于驱动运输架2靠近或者远离底座1的平移驱动单元3; 所述底座1设置有多个加工槽101;所述运输架2设置有与所述加工槽101对应的取放口201以贯穿运输架2的缺口202,所述取放口201与缺口202连通; 当需要加工晶圆时,将装有晶圆的晶圆盒放置于运输架2,使得晶圆盒的底端开口对应取放口201,平移驱动单元3带动运输架2靠近底座1,以使得取放口201位于对应加工槽101的上方,便于用于对晶圆加工的相关设备通过取放口201和加工槽101顺利处理晶圆盒上的晶圆; 当需要将晶圆盒放置于运输架2时,平移驱动单元3带动运输架2远离底座1,使取放口201位于加工槽101的一侧,承载有晶圆盒的设备通过缺口202伸入取放口201,从而将晶圆盒放置于运输架2; 当需要将晶圆盒从运输架2取走时,平移驱动单元3带动运输架2远离底座1,使取放口201位于加工槽101的一侧,用于承载晶圆盒的设备通过缺口202伸入取放口201并承载晶圆盒,然后将晶圆盒沿缺口202取出。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人上海大族富创得科技股份有限公司,其通讯地址为:201112 上海市闵行区万芳路555号1幢1层102室、2层202室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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