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苏州新米特电子科技有限公司李志卫获国家专利权

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龙图腾网获悉苏州新米特电子科技有限公司申请的专利一种晶圆切割清洗一体化设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224044213U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520622253.6,技术领域涉及:B28D5/02;该实用新型一种晶圆切割清洗一体化设备是由李志卫设计研发完成,并于2025-04-03向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆切割清洗一体化设备在说明书摘要公布了:本申请涉及半导体生产技术领域,且公开了一种晶圆切割清洗一体化设备,包括切割机构,所述切割机构一侧固定连接有清洗箱,所述清洗箱一侧固定连接有出料台,所述切割机构和清洗箱上端固定连接有抓取机构,所述清洗箱内部一侧开设有收纳槽,所述清洗箱上端一侧固定连接有第二电机,所述第二电机的输出端固定连接有清洗机构。该一种晶圆切割清洗一体化设备,将晶圆切割、清洗和出料三个工序集成在一起,实现了工序间的无缝衔接,提高了生产效率,抓取机构的设置使得晶圆在切割后能够自动被抓取,并准确转移到清洗箱中,减少了人工操作,降低了劳动强度,同时提高了生产的准确性和效率。

本实用新型一种晶圆切割清洗一体化设备在权利要求书中公布了:1.一种晶圆切割清洗一体化设备,包括切割机构1,其特征在于:所述切割机构1一侧固定连接有清洗箱2,所述清洗箱2一侧固定连接有出料台3,所述切割机构1和清洗箱2上端固定连接有抓取机构4,所述清洗箱2内部底端固定连接有第三液压杆5,所述第三液压杆5的伸缩端固定连接有第二电动转盘6,所述清洗箱2内部一侧开设有收纳槽7,所述清洗箱2上端一侧固定连接有第二电机8,所述第二电机8的输出端固定连接有清洗机构9,所述出料台3上端固定连接有第三电动转盘10,所述第三电动转盘10上端转动设置有转动板11,所述转动板11上端固定连接有两个呈镜像分布设置的第三直线模组12,两个所述第三直线模组12的移动端固定连接有移动架13,所述移动架13一侧固定连接有两个呈镜像分布设置的连接板14,两个所述连接板14远离移动架13的一端固定连接有出料抓手15,所述出料台3一侧固定设置有两个成镜像分布设置的电动滑轨16,两个所述电动滑轨16内部均固定连接有移动杆17,两个所述移动杆17上端固定连接有升降板18,所述升降板18上端固定连接有放置台19。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州新米特电子科技有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市苏州工业园区胜浦九江路2号1号厂房二楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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