联合光科(重庆)精密科技有限公司付治获国家专利权
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龙图腾网获悉联合光科(重庆)精密科技有限公司申请的专利一种单晶硅片双面研磨装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224043481U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520834647.8,技术领域涉及:B24B37/08;该实用新型一种单晶硅片双面研磨装置是由付治;邹洁设计研发完成,并于2025-04-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种单晶硅片双面研磨装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及单晶硅片研磨技术领域,特别涉及一种单晶硅片双面研磨装置,包括工作台,工作台上方设有上研磨盘和下研磨盘,工作台的底部安装有驱动下研磨盘转动的下驱动电机,工作台上安装有安装架,安装架上安装有液压缸,液压缸的驱动端固定连接有升降架,升降架上安装有驱动上研磨盘的上驱动电机,上研磨盘和下研磨盘之间设有载具台,载具台上正对上研磨盘和下研磨盘开设有通孔,通孔的底部开设有环形安装槽,环形安装槽内设置有弹性缓冲圈;本实用新型缓冲了硅片与载具之间的作用力,显著减少了硅片边缘应力集中的情况,降低了硅片出现崩边、裂纹等缺陷的概率,进而提高了硅片的良品率和产品质量。
本实用新型一种单晶硅片双面研磨装置在权利要求书中公布了:1.一种单晶硅片双面研磨装置,其特征在于:包括工作台1,所述工作台1上方设有上研磨盘2和下研磨盘3,所述工作台1的底部安装有驱动所述下研磨盘3转动的下驱动电机4,所述工作台1上安装有安装架5,所述安装架5上安装有液压缸6,所述液压缸6的驱动端固定连接有升降架7,所述升降架7上安装有驱动所述上研磨盘2的上驱动电机8,所述上研磨盘2和下研磨盘3之间设有载具台9,所述载具台9上正对所述上研磨盘2和下研磨盘3开设有通孔901,所述通孔901的底部开设有环形安装槽902,所述环形安装槽902内设置有弹性缓冲圈10。
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