江苏芯梦半导体设备有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏芯梦半导体设备有限公司申请的专利晶圆盒清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224042019U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520556143.4，技术领域涉及：B08B9/28；该实用新型晶圆盒清洗装置是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆盒清洗装置在说明书摘要公布了：本申请涉及一种晶圆盒清洗装置。装置包括清洗室，具有清洗腔；第一供应管路组件，用于向盒体的外壁供应清洗液，以对盒体的外壁进行清洗；第二供应管路组件，用于向盒体的内壁供应清洗液；排出管，用于排出清洗室的清洗液，排出管连通清洗腔；排废管，连接排出管；回收管，一端连接排出管，另一端连通第一供应管路组件；选择阀门，用于在排出管和排废管以及排出管和回收管两个连通节点之间择一连通；控制部件，连接选择阀门，用于控制选择阀门的选择操作。本申请的技术方案，降低了清洗成本，节约了水资源。
本实用新型晶圆盒清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆盒清洗装置，其特征在于，所述晶圆盒包括可相互分离的盒体与盖体，所述清洗装置包括： 清洗室，具有容纳盒体的清洗腔，以在所述清洗腔内对所述盒体进行清洗； 第一供应管路组件，用于向所述盒体的外壁供应清洗液，以对所述盒体的外壁进行清洗； 第二供应管路组件，用于向所述盒体的内壁供应清洗液； 排出管，用于排出所述清洗室的清洗液，所述排出管连通所述清洗腔； 排废管，连接所述排出管； 回收管，一端连接所述排出管，另一端连通所述第一供应管路组件； 选择阀门，用于在所述排出管和所述排废管以及所述排出管和所述回收管两个连通节点之间进行选择操作，以择一连通； 控制部件，连接所述选择阀门，用于控制所述选择阀门的选择操作。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏芯梦半导体设备有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市吴中经济开发区东吴南路25号城南科技产业园7幢(2号厂房)1、2层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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