上海玄亨科技股份有限公司刘段裔获国家专利权
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龙图腾网获悉上海玄亨科技股份有限公司申请的专利一种集成化静电卡盘清洗设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224041908U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520636939.0，技术领域涉及：B08B3/10；该实用新型一种集成化静电卡盘清洗设备是由刘段裔设计研发完成，并于2025-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种集成化静电卡盘清洗设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种集成化静电卡盘清洗设备，包括依次连接的第一清洗槽、第二清洗槽和第三清洗槽；第一清洗槽对静电卡盘进行浸泡处理，包括：供液口，设置于第一清洗槽的底部，向槽内输入清洗液至设定的液位高度；加热棒，设置于第一清洗槽的侧壁顶部，且向下倾斜延伸至清洗液的液位高度以下，对该第一清洗槽内的清洗液进行传导加热；多个低频超声波振子，均匀间隔设置于第一清洗槽的底部并形成阵列；第二清洗槽设置多个水枪，对静电卡盘进行冲洗处理；第三清洗槽设置多个干燥设备，对静电卡盘进行干燥处理。本实用新型将静电卡盘清洗过程中多工序所使用的多台功能单一的清洗设备进行集成，能够显著提升静电卡盘清洗效率。
本实用新型一种集成化静电卡盘清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种集成化静电卡盘清洗设备，其特征在于，包括依次连接的第一清洗槽、第二清洗槽和第三清洗槽； 所述第一清洗槽对静电卡盘进行浸泡处理，包括： 供液口，设置于所述第一清洗槽的底部，向槽内输入清洗液至设定的液位高度； 加热棒，设置于所述第一清洗槽的侧壁顶部，且向下倾斜延伸至清洗液的液位高度以下，对该第一清洗槽内的清洗液进行传导加热； 多个低频超声波振子，均匀间隔设置于所述第一清洗槽的底部并形成阵列； 所述第二清洗槽设置多个水枪，对静电卡盘进行冲洗处理； 所述第三清洗槽设置多个干燥设备，对静电卡盘进行干燥处理。
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