创微微电子(常州)有限公司左国军获国家专利权
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龙图腾网获悉创微微电子(常州)有限公司申请的专利兼容式光罩清洗设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224041905U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520504422.6，技术领域涉及：B08B3/10；该实用新型兼容式光罩清洗设备是由左国军;蔡嘉雄;孙伟;邱开宇设计研发完成，并于2025-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本兼容式光罩清洗设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体生产设备制造领域，具体涉及一种兼容式光罩清洗设备。本装置包括清洗池，其内部适于盛放药液；所述清洗池的一侧分别安装有进水管和出水管；其中，所述进水管与清洗池的底部连通；所述清洗池的底部设置有底喷淋管；所述清洗池的顶部设置有顶喷淋管。通过在清洗池一侧设置进水管和出水管，并通过底喷淋管和顶喷淋管向清洗池内补充药液出水管将清洗池内的药液排出，以使清洗池内的药液保持稳定的浓度，避免药液静置状态下清洗光罩，药液浓度逐渐降低导致清洗质量下降。
本实用新型兼容式光罩清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种兼容式光罩清洗设备，其特征在于，包括： 至少一个清洗池1，其内部适于盛放药液； 所述清洗池1的一侧分别安装有进水管11和出水管12； 其中，所述进水管11与清洗池1的底部连通； 所述清洗池1的底部设置有底喷淋管13； 所述清洗池1的顶部设置有顶喷淋管14。
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