无锡奥多尔自动化有限公司王金余获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡奥多尔自动化有限公司申请的专利一种用于晶圆清洗的漂洗溢流槽获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224041891U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520698273.1，技术领域涉及：B08B3/04；该实用新型一种用于晶圆清洗的漂洗溢流槽是由王金余;杨桦设计研发完成，并于2025-04-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆清洗的漂洗溢流槽在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种用于晶圆清洗的漂洗溢流槽，包括漂洗槽、溢流槽以及设置在槽内的供水单元和出水单元，其中溢流槽内还设置有用于放置晶圆的转动单元，转动单元包括具有多个漏水孔的承载篮和驱动承载篮转动的转动电机，使得：本实用新型将漂洗槽和溢流槽相结合，并且将溢流槽内的水进行二次利用循环进入漂洗槽内对晶圆进行清洗，其中，转动单元能够筛选出溢流槽内较为纯净的水进入漂洗槽内进行清洁，有效的提高了循环用水的清洁效果。
本实用新型一种用于晶圆清洗的漂洗溢流槽在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆清洗的漂洗溢流槽，其特征在于：包括槽体1，设置在所述槽体1内、将所述槽体1分隔为漂洗槽a和溢流槽b的隔板2，设置在所述槽体1上的供水单元3，设置在所述槽体1上的出水单元4，以及设置在所述溢流槽b内、用于放置晶圆的转动单元5；所述转动单元5包括设置在所述槽体1内底面上的转动电机51，设置在所述转动电机51上的承载篮52，设置在所述承载篮52侧壁上的多个漏水孔53。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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