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龙图腾网获悉上海邦芯半导体科技有限公司申请的专利一种具有自清洁功能的控压蝶阀及等离子体处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121576426B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610105885.4，技术领域涉及：F16K1/22；该发明授权一种具有自清洁功能的控压蝶阀及等离子体处理设备是由张朋兵;顾橙蕾;唐乐设计研发完成，并于2026-01-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种具有自清洁功能的控压蝶阀及等离子体处理设备在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种具有自清洁功能的控压蝶阀及等离子体处理设备，包括阀门壳体、阀板、磁场生成件、副产物检测件和控制件；阀板转动设于阀门壳体的内腔且采用金属材质制成，阀门壳体采用绝缘材质制成，阀板的周向外壁与阀门壳体的内侧壁之间具有可调节蝶阀开度的间隙，磁场生成件设于阀门壳体的内侧壁上，磁场生成件与交变电源连接且在通入交变电流时产生磁感线穿过阀板的交变磁场；副产物检测件的检测端朝向阀板；控制件与副产物检测件和磁场生成件连接；本发明利用电磁感应原理，由磁场生成件产生交变磁场使阀板内部直接产生涡流而自发热，能量效率高，可快速清除附着于阀板表面的副产物。

本发明授权一种具有自清洁功能的控压蝶阀及等离子体处理设备在权利要求书中公布了：1.一种具有自清洁功能的控压蝶阀，其特征在于，包括阀门壳体、阀板、磁场生成件、副产物检测件和控制件； 所述阀板转动设于所述阀门壳体的内腔且采用金属材质制成，所述阀门壳体采用绝缘材质制成，所述阀板的周向外壁与所述阀门壳体的内侧壁之间具有可调节蝶阀开度的间隙，以及， 所述磁场生成件设于所述阀门壳体的内侧壁上，且与所述阀板之间具有间距，所述磁场生成件与交变电源连接且在通入交变电流时产生磁感线穿过所述阀板的交变磁场； 所述副产物检测件的检测端朝向所述阀板，以用于实时采集所述阀板上沉积的副产物沉积信息； 所述控制件与所述副产物检测件和所述磁场生成件连接，所述控制件根据所述副产物沉积信息控制所述磁场生成件通电产生交变磁场使所述阀板根据电磁感应效应产生涡流而自发热，以清除所述阀板上沉积的副产物； 所述阀板的内部设置有中空腔体，所述中空腔体内填充有相变储能物，以利用所述相变储能物的自身储热特性，在断电后，维持所述阀板的温度。

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