湖北星辰技术有限公司陈帮获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北星辰技术有限公司申请的专利一种晶圆键合装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121548341B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610056806.5，技术领域涉及：H10W80/00；该发明授权一种晶圆键合装置及方法是由陈帮;王鹏设计研发完成，并于2026-01-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆键合装置及方法在说明书摘要公布了：本申请提供了一种晶圆键合装置，晶圆键合装置包括：键合腔体。键合腔体包括载板、键合头和激光辅助装置。载板用于在键合过程中固定晶圆。键合头用于在键合过程中固定芯片。激光辅助装置位于载板远离键合头的一侧，用于发射激光穿透载板和晶圆，对晶圆和芯片的键合界面进行改性，调整键合过程中的键合波的传播速度。在晶圆和芯片键合的过程中，通过激光辅助装置发射激光对键合界面进行改性处理，提高键合过程中的键合波的传播速度，从而，形成标准的圆形键合波。标准的圆形键合波既能避免键合空洞的形成，也能有效减少图形失真。
本发明授权一种晶圆键合装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆键合装置，其特征在于，包括：键合腔体；所述键合腔体包括： 载板，用于在键合过程中固定晶圆； 键合头，用于在所述键合过程中固定芯片； 激光辅助装置，位于所述载板远离所述键合头的一侧，用于发射激光穿透所述载板和所述晶圆，对所述晶圆和所述芯片的键合界面进行改性，调整所述键合过程中的键合波的传播速度。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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