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龙图腾网获悉苏州耀德半导体有限公司申请的专利一种真空腔体加热吸附力动态测试装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121540628B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610052507.4，技术领域涉及：G01N19/04；该发明授权一种真空腔体加热吸附力动态测试装置是由赖学明;王江;潘美玲设计研发完成，并于2026-01-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种真空腔体加热吸附力动态测试装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种真空腔体加热吸附力动态测试装置，涉及加热吸附力动态测试技术领域，包括真空腔体加热吸附力机体；处理仓，其设置在真空腔体加热吸附力机体的顶部，且一侧设置有真空泵，用于将真空腔体加热吸附力机体腔体内空气抽出形成真空状态；均匀接触应力组件，其设置在真空腔体加热吸附力机体的内部，用于密封面的轴向压缩进行动态施压以此实现应力均匀分布；竖向动态补偿组件，其设置在均匀接触应力组件的内部，用于增大密封面的竖向压缩变形区域进行动态补偿以此自适应地填充间隙；通过多个补偿辊对密封垫圈外侧的径向挤压，让密封垫圈上下两个密封面更加用力地贴近接触面，密封垫圈压缩能够与沟槽填的更满。

本发明授权一种真空腔体加热吸附力动态测试装置在权利要求书中公布了：1.一种真空腔体加热吸附力动态测试装置，其特征在于，包括： 真空腔体加热吸附力机体100； 处理仓200，其设置在真空腔体加热吸附力机体100的顶部，且一侧设置有真空泵300，用于将真空腔体加热吸附力机体100腔体内空气抽出形成真空状态； 均匀接触应力组件1，其设置在真空腔体加热吸附力机体100的内部，所述均匀接触应力组件1包括抽送圆型管101、应力托举板106和密封垫圈107，所述应力托举板106设置在抽送圆型管101的底部，且其顶端开设有沟槽，所述沟槽的内部设置有密封垫圈107，用于密封面的轴向压缩进行动态施压以此实现应力均匀分布； 竖向动态补偿组件2，其设置在均匀接触应力组件1的内部，用于增大密封面的竖向压缩变形区域进行动态补偿以此自适应地填充间隙； 横向主动聚拢组件3，其设置在竖向动态补偿组件2的内部，用于自动向沟槽施加径向箍紧力进行均匀接触应力组件1的复位； 所述真空腔体加热吸附力机体100内部的顶部设置有两个夹紧垫圈311，用于支撑抽取空气用的管件； 所述均匀接触应力组件1还包括聚拢圈102、微型电机103、第一齿轮104、第二齿轮105、加固板108、第一轴承109、支撑块110、第二轴承111、丝杆112、第三齿轮113、嵌入杆114和竖向块115，所述抽送圆型管101设置在两个夹紧垫圈311之间，所述应力托举板106的内表面设置有聚拢圈102； 所述微型电机103设置在真空腔体加热吸附力机体100的顶部，且输出轴与第一齿轮104的一端传动连接，所述第二齿轮105套设在抽送圆型管101的一端部，用于抽送圆型管101做圆周转动； 所述第一轴承109设置在加固板108的底部，丝杆112设置在第一轴承109和第二轴承111之间，所述第三齿轮113套设在丝杆112的一端部； 通过第二齿轮105与第三齿轮113的啮合连接，即可带动着与之套设的应力托举板106竖向移动，继而增大密封垫圈107与竖向动态补偿组件2之间的接触面积，通过密封面的轴向压缩进行动态施压以此实现应力均匀分布。

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