长沙市熔材科技有限公司吴宗获国家专利权
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龙图腾网获悉长沙市熔材科技有限公司申请的专利一种氧化锆靶材及其制备方法和应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121538603B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610071815.1，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权一种氧化锆靶材及其制备方法和应用是由吴宗;谭海洋;杜广;田澳兴设计研发完成，并于2026-01-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氧化锆靶材及其制备方法和应用在说明书摘要公布了：本发明公开了一种氧化锆靶材及其制备方法和应用，属于粉末冶金技术领域，以高纯电熔氧化锆为原料，利用固相法添加氧化钇作为稳定剂，通过一次球磨、煅烧、二次球磨、冷等静压、烧结、退火得到电熔氧化锆靶材，本发明制备的靶材成本低、杂质含量低，使用过程不开裂、不产生飞溅，制备的涂层性能优异，可满足EB‑PVD工艺需求，有利于量产推广。
本发明授权一种氧化锆靶材及其制备方法和应用在权利要求书中公布了：1.一种氧化锆靶材，其特征在于：所述氧化锆靶材以由电熔氧化锆经球磨处理得到的高纯电熔氧化锆粉末为氧化锆原料，还包括， 相较于高纯电熔氧化锆粉末的添加量为10~25wt%的生粉； 相较于高纯电熔氧化锆粉末和生粉总质量的添加量为1~2wt%的氧化钇粉末； 相较于高纯电熔氧化锆粉末、生粉和氧化钇粉末总质量的添加量为0.1%～2%的粘结剂； 所述氧化锆靶材由电熔氧化锆经球磨得到高纯电熔氧化锆粉末，烘干后向其中添加生粉，充分混合后得到混合粉末I； 混合粉末I经煅烧处理向其中加入氧化钇粉末，混合球磨，得到浆料； 浆料烘干后添加粘结剂，充分混合后得到混合粉末Ⅱ，混合粉末Ⅱ经冷等静压，得到陶瓷靶材素坯； 陶瓷靶材素坯进行高温烧结处理得到烧结产物，烧结产物进行退火处理，即得到氧化锆靶材。
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