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龙图腾网获悉上海普达特半导体设备有限公司申请的专利半导体滚轮传输装置及半导体设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121531970B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610044372.7，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权半导体滚轮传输装置及半导体设备是由李双亮;尹新;齐永恒;周景辉设计研发完成，并于2026-01-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体滚轮传输装置及半导体设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种半导体滚轮传输装置及半导体设备，包括槽体、滚轮、滚轮第一支架组件、滚轮第二支架组件及传动组件，可实现多自由度调节，从而可极大地简化安装调试流程与后续的维护保养工作，降低生产运营成本；通过缩小滚轮间距以及采用非标准锥齿轮啮合传动方案，实现了单根传动轴对多个交叉排布滚轮的稳定、同步驱动、结构紧凑及可靠传动，使得在传输相同尺寸的硅片时，硅片与滚轮的有效接触点数量增加20%~25%，从而可提高传输稳定性，抑制硅片的弯曲变形，保障刻蚀均匀性，提升工艺窗口的稳定性和产品良率。

本发明授权半导体滚轮传输装置及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体滚轮传输装置，其特征在于，所述半导体滚轮传输装置包括： 槽体，所述槽体的内部设置有定位槽； 滚轮，所述滚轮包括相对设置的第一端及第二端； 滚轮第一支架组件，所述滚轮第一支架组件包括： 第一支架侧板，所述第一支架侧板固定于所述槽体内，且所述第一支架侧板上设置有第一支架侧板定位孔； 第一支架，所述第一支架设置于所述第一支架侧板的内侧，所述第一支架上设置有第一支架垂直调节孔、第一支架高度调节螺纹孔及第一容纳槽；所述第一支架垂直调节孔自所述第一支架的侧壁贯穿所述第一支架且与所述第一支架侧板定位孔对应设置；所述第一支架高度调节螺纹孔自所述第一支架的顶端贯穿所述第一支架，且所述第一支架高度调节螺纹孔内设置有对应的第一支架高度调节螺丝；所述第一容纳槽与所述滚轮的第一端对应设置； 滚轮第二支架组件，所述滚轮第二支架组件包括： 支架底板，所述支架底板固定于所述定位槽中，且所述支架底板上设置有支架底板定位孔； 第二支架侧板，所述第二支架侧板上设置有第二支架侧板水平调节孔及第二支架侧板垂直调节孔；所述第二支架侧板水平调节孔自所述第二支架侧板的顶端贯穿所述第二支架侧板，且所述第二支架侧板水平调节孔与所述支架底板定位孔对应设置；所述第二支架侧板垂直调节孔自所述第二支架侧板的侧壁贯穿所述第二支架侧板； 第二支架，所述第二支架设置于所述第二支架侧板的外侧，所述第二支架上设置有第二支架第一固定孔、第二支架高度调节螺纹孔、第二容纳槽及第二支架第二固定孔；所述第二支架第一固定孔与所述第二支架侧板垂直调节孔对应设置；所述第二支架高度调节螺纹孔自所述第二支架的顶端贯穿所述第二支架，且所述第二支架高度调节螺纹孔内设置有对应的第二支架高度调节螺丝；所述第二容纳槽与所述滚轮的第二端对应设置； 传动组件，所述传动组件设置于所述第二支架的外侧，所述传动组件包括传动轴安装座、传动轴、第一锥齿轮及第二锥齿轮；所述传动轴安装座通过所述第二支架第二固定孔与所述第二支架固定且保持同步位移；所述传动轴安装于所述传动轴安装座上；所述第一锥齿轮安装于所述滚轮的第二端；所述第二锥齿轮安装于所述传动轴上，且所述第一锥齿轮与所述第二锥齿轮啮合，以带动所述滚轮旋转； 其中，所述第一容纳槽与所述第二容纳槽均等间距设置，所述滚轮直径为R，邻近的所述滚轮的间距为D，且R＜D。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海普达特半导体设备有限公司，其通讯地址为：201203 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区龙东大道3158弄6号1幢802室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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