中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))陈义强获国家专利权
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龙图腾网获悉中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))申请的专利一种从单只PMOSFET上提取NBTI激活能的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121500061B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202610030958.8,技术领域涉及:G01R31/26;该发明授权一种从单只PMOSFET上提取NBTI激活能的方法是由陈义强;高汭;李潮;何玉娟;章晓文;林晓玲;王力纬;路国光设计研发完成,并于2026-01-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种从单只PMOSFET上提取NBTI激活能的方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种从单只PMOSFET上提取NBTI激活能的方法,根据应力时间序列,分别在不同温度下对PMOSFET施加恒定电压下的NBTI应力,监测转移特性曲线‑在不同温度下随时间序列的变化动态,从转移特性曲线‑中分别阈值电压,得到升温过程中Δ退化动态,将初始温度以外的其余温度产生Δ退化动态的应力时间转换为初始温度产生Δ退化动态的等效应力时间,多个等效应力时间相加得到Δ~累积等效应力时间的关系,计算使Δ~累积等效应力时间落在Δ~初始温度的等效应力时间的延长线上的值,使用单只PMOSFET试验,能避免多个器件之间的一致性差异对激活能的影响,结果准确;同时所有退化数据都在单只PMOSFET样本上得到,试验时间短,提高了NBTI激活能的提取效率以及样本的利用率。
本发明授权一种从单只PMOSFET上提取NBTI激活能的方法在权利要求书中公布了:1.一种从单只PMOSFET上提取NBTI激活能的方法,其特征在于:包括以下步骤: S1、设置对数增长的应力时间序列; S2、根据应力时间序列,分别在不同温度下对PMOSFET施加恒定电压下的NBTI应力,不同温度呈增量分布;监测转移特性曲线-在不同温度下随时间序列的变化动态; S3、从不同温度对应转移特性曲线-中分别提取阈值电压,得到升温过程中Δ退化动态,Δ为阈值电压变化量; S4、将初始温度以外的其余温度产生Δ退化动态的应力时间转换为初始温度产生Δ退化动态的等效应力时间,多个等效应力时间相加得到Δ~累积等效应力时间的关系,计算使Δ~累积等效应力时间落在Δ~初始温度的等效应力时间的延长线上的值,值为NBTI激活能; 具体包括以下步骤: S4.1、预设NBTI激活能范围; S4.2、将多个等效应力时间相加得到Δ~累积等效应力时间的关系; S4.3、预设,大于NBTI激活能范围; 通过计算Δ~累积等效应力时间的关系; K为玻尔兹曼常数,t为应力时间,P为应力时间的幂指数,为初始温度,为变化温度,=+ΔT,ΔT为温度增量,i为成呈增量分布的温度试验序号; S4.4、预设,小于NBTI激活能范围; 通过计算Δ~累积等效应力时间的关系; S4.5、以和为区间,计算值,使Δ~累积等效应力时间落在Δ~初始温度的等效应力时间的延长线上。
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