南京邮电大学高丽获国家专利权
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龙图腾网获悉南京邮电大学申请的专利紫外至近红外超宽波段可调谐WO3-x基FP腔、制备及调控方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121432776B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202512046834.7,技术领域涉及:G02F1/21;该发明授权紫外至近红外超宽波段可调谐WO3-x基FP腔、制备及调控方法是由高丽;于远方;杨林杰;王安冉设计研发完成,并于2025-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本紫外至近红外超宽波段可调谐WO3-x基FP腔、制备及调控方法在说明书摘要公布了:本发明公开一种紫外至近红外超宽波段可调谐WO3‑x基FP腔、制备及调控方法,属于光电器件技术领域。该FP腔由衬底、钨金属上反射镜和WO3‑x介质层依次层叠组成,以空气作为下反射镜。制备时通过磁控溅射一体化沉积钨金属层与WO3‑x介质层,其中WO3‑x层制备阶段精确控制氩气与氧气体积流量比为2:1;调控时采用200~500℃、0.5~2h的退火工艺,通过改变WO3‑x层中氧空位含量调节其折射率,实现紫外至近红外波段光谱动态调谐,且可同步调控可见光区域结构色。该技术无需复杂机械或电压调控结构,具有调谐范围宽、稳定性强、工艺简单、适合量产等优势,可应用于光通信、光谱分析及节能窗等领域。
本发明授权紫外至近红外超宽波段可调谐WO3-x基FP腔、制备及调控方法在权利要求书中公布了:1.一种紫外至近红外超宽波段可调谐WO3-x基FP腔,其特征在于,包括依次层叠设置的衬底、钨金属层及WO3-x介质层; 所述钨金属层作为上反射镜,空气作为下反射镜; 所述钨金属层的厚度为80~130nm,所述WO3-x介质层的厚度为160~220nm。
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