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博测锐创半导体科技(苏州)有限公司任志军获国家专利权

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龙图腾网获悉博测锐创半导体科技(苏州)有限公司申请的专利一种半导体测试中微弱信号的抗干扰测量方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121432119B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511990340.8,技术领域涉及:G01R31/26;该发明授权一种半导体测试中微弱信号的抗干扰测量方法是由任志军;陈彦锐;李冲;李明月;张垚;韦春蕾设计研发完成,并于2025-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。

一种半导体测试中微弱信号的抗干扰测量方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种半导体测试中微弱信号的抗干扰测量方法,涉及半导体测试技术领域,该方法的具体步骤为:本发明先构建多物理场耦合模型预判干扰风险,据此定制分层屏蔽结构;再搭建双系统采集平台同步校准;接着进行全链路数字化补偿修正信号;最后调用数据库自适应抑制干扰;形成从预判、隔离、校准到补偿、抑制的闭环,保障微弱信号测量精准稳定;本发明通过构建多物理场耦合模型与量化预判算法,定制分层屏蔽结构,搭配双系统采集校准机制,提升抗干扰能力与数据采集质量,同时采用全链路数字化补偿,精准修正信号,动态抑制干扰,形成全流程闭环处理,保障测量精准稳定,适用于多种半导体测试场景,提供更可靠技术支撑。

本发明授权一种半导体测试中微弱信号的抗干扰测量方法在权利要求书中公布了:1.一种半导体测试中微弱信号的抗干扰测量方法,其特征在于,该方法的具体步骤为: S1,多物理场干扰预判:构建核心部件的电-热-力耦合模型,明确材料属性并输入测试场景边界条件,仿真获取电流密度、温升、机械应力及测试持续时间参数,运用多物理场耦合干扰量化预判算法量化干扰风险等级,多物理场耦合干扰量化预判算法的数学表达式为:,其中,为多物理场综合干扰预判系数,、、为权重系数,为核心部件实际电流密度,为额定最大电流密度,为部件实际温升,为测试器件允许最大温升,为部件实际机械应力,为材料允许最大应カ,为测试持续时间,为时间衰减常数,根据风险等级调整测试脉冲宽度、采样频率,以多物理场综合干扰预判系数划分的风险等级为依据,对不同核心部件的参数进行差异化调整;当处于0至0.4的低风险区间时,保持各核心部件的初始参数:高压模块、中压模块、低压模块的测试脉冲宽度为20μs、采样频率为1kHz,大电流单元的测试脉冲宽度为20μs、采样频率为1kHz;当处于0.4至0.6的中风险区间时,调整参数为:高压模块采样频率提升至2kHz,大电流单元采样频率提升至2MHz,中压模块、低压模块采样频率提升至2kHz,所有核心部件的测试脉冲宽度保持20μs;当处于0.6的高风险区间时,调整参数为:高压模块采样频率提升至4kHz、测试脉冲宽度压缩至10μs,大电流单元采样频率提升至5MHz、测试脉冲宽度压缩至10μs,中压模块、低压模块采样频率提升至3kHz、测试脉冲宽度压缩至12μs; S2,模块化差异化屏蔽:基于干扰风险等级及分布结果,针对不同部件的干扰辐射特性定制分层屏蔽结构,针对高压模块的高压电场干扰,选用屏蔽效能≥80dB的金属密封材料,屏蔽层厚度为2mm,覆盖模块整体,接地方式为间距10mm的铜质接地网格;针对大电流单元的低频磁场干扰,选用磁导率≥的磁屏蔽材料,屏蔽层厚度为1.5mm,覆盖核心导体区域,配套屏蔽覆盖率≥95%的屏蔽线缆,接地方式为单点接地;针对中压模块、低压模块的电场耦合干扰,选用铝制屏蔽材料,屏蔽层厚度为1.5mm,覆盖模块主体,接地方式为单点接地;针对核心采集模块的残余电磁干扰,选用吸收频段1kHz至5MHz、吸收衰减≥20dB的电磁吸收材料,覆盖信号路径区域,屏蔽层厚度为0.5mm,接地方式为多点接地,经二次仿真优化屏蔽布局; S3,双系统同步采集校准:搭建双系统并行采集平台,通过专用连接方式实现两系统数据实时交互,并行采集微弱信号,记录两系统原始信号,计算原始信号均值与链路噪声,当数据偏差超出设定阈值时触发临时校准; S4,全链路数字化补偿:采用特定连接方式减少线路损耗,实时监测线路电阻与接触电阻,对原始信号进行前置放大,运用多物理场关联全链路动态补偿算法,结合干扰风险等级、实时电阻数据及链路噪声修正原始信号,多物理场关联全链路动态补偿算法的数学表达式为:,其中,为补偿后最终信号值,为双系统同步采集原始信号均值,为多物理场综合干扰预判系数,为补偿系数,为线路电阻,为接触电阻,为标准参考电阻,为噪声修正系数,为采集链路噪声电压,为信号满量程电压; S5,自适应干扰抑制:调用包含典型干扰模式的数据库,通过融合模型实时识别干扰特征幅值,结合干扰风险等级、补偿后信号及信噪比数据,自动调整滤波参数与信号调理增益,先计算补偿后信号的信噪比,结合得出的干扰风险等级及识别出的干扰特征幅值,确定调整基准;低风险区间且信噪比≥40dB时,选用低通滤波器;中风险区间或20dB≤信噪比<40dB时,切换为带通滤波器,信号调理增益按信噪比梯度调整;高风险区间或信噪比<20dB时,启用自适应陷波滤波器,信号调理增益提升,并实时监测信号幅值变化以更新滤波参数与增益值。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人博测锐创半导体科技(苏州)有限公司,其通讯地址为:215123 江苏省苏州市工业园区中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城中北区29幢1、2层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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