买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉苏州众行汇创科技有限公司申请的专利MEMS部件及其支撑结构和液体喷出头获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121426045B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202512034365.7，技术领域涉及：B81B7/02；该发明授权MEMS部件及其支撑结构和液体喷出头是由付伟欣设计研发完成，并于2025-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本MEMS部件及其支撑结构和液体喷出头在说明书摘要公布了：本公开提供了一种MEMS部件及其支撑结构和液体喷出头，支撑结构至少包括两个半通槽结构和一个通槽；通槽贯穿支撑结构的正面和反面，通槽用于提供压电式致动器结构与驱动电路之间的电气互连通道；半通槽结构的开口位于支撑结构的反面，每个半通槽结构包括半通槽顶壁、第一数量的半通槽侧壁和第二数量的半通槽空腔；每个半通槽侧壁的下端与压电式致动器结构相互键合，以形成包含压电式致动器结构的可动部的第一密封空腔。本公开中，各个相邻的第一密封空腔通过半通槽侧壁进行隔离，任意一个第一密封空腔内的可动部发生振动时，不会影响到其他第一密封空腔，降低了不同的可动部之间的串扰，提高了压电式致动器结构的可靠性。

本发明授权MEMS部件及其支撑结构和液体喷出头在权利要求书中公布了：1.一种MEMS部件的支撑结构，其特征在于，所述MEMS部件包括压电式致动器结构和用于驱动所述压电式致动器结构运行的驱动电路； 所述支撑结构至少包括两个第一半通槽结构和一个第一通槽，所述第一通槽位于所述两个第一半通槽结构之间； 所述第一通槽贯穿所述支撑结构的正面和反面，所述第一通槽用于提供所述压电式致动器结构与所述驱动电路之间的电气互连通道； 所述第一半通槽结构的开口位于所述支撑结构的反面，每个所述第一半通槽结构包括第一半通槽顶壁、第一数量的第一半通槽侧壁和第二数量的第一半通槽空腔； 所述第二数量比所述第一数量少一个； 每个所述第一半通槽侧壁的下端与所述压电式致动器结构相互键合，以形成包含所述压电式致动器结构的可动部的第一密封空腔； 所述支撑结构的支撑长边方向与所述压电式致动器结构的致动器短边方向平行； 所述支撑结构的支撑短边方向与所述压电式致动器结构的致动器长边方向平行； 所述第一通槽的端角为圆角，所述第一半通槽结构的端角为圆角； 和或，所述第一通槽的厚度为300um-500um； 和或，所述第一半通槽空腔的厚度大于0且小于或等于200um； 和或，所述支撑结构的反面设置有溜胶孔； 和或，所述第一通槽包括第一通道和第二通道； 所述第一通道对应所述支撑结构的正面，所述第二通道对应所述支撑结构的反面； 所述第一通道的尺寸和所述第二通道的尺寸相同或不同； 和或，所述支撑结构的表面覆盖有钝化薄膜； 和或，所述第一半通槽侧壁的下端与所述压电式致动器结构通过胶层进行键合。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州众行汇创科技有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道99号纳米城西北区9栋402室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。