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龙图腾网获悉歌尔光学科技有限公司申请的专利激光干涉仪及其测量方法、光学检测系统以及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121409092B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511988008.8，技术领域涉及：G01B9/02015；该发明授权激光干涉仪及其测量方法、光学检测系统以及存储介质是由李绍民设计研发完成，并于2025-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本激光干涉仪及其测量方法、光学检测系统以及存储介质在说明书摘要公布了：本申请公开了一种激光干涉仪及其测量方法、光学检测系统以及存储介质，涉及光学检测技术领域，在该激光干涉仪中，第一光学测量元件按照预设的第一入射方向角向被测光栅投射第一测量光，并接收经由被测光栅衍射第一测量光形成的第一干涉图；与第一光学测量元件对称设置的第二光学测量元件按照与第一入射方向角对称的第二入射方向角向被测光栅投射第二测量光，并接收经由被测光栅衍射第二测量光形成的第二干涉图；成像采集模块用于依据第一干涉图以及第二干涉图确定被测光栅的测量结果，以在不牺牲测量精度与非破坏性的前提下，实现对大尺寸光栅周期均匀性的快速测量，以适应产业化量产中的检测要求。

本发明授权激光干涉仪及其测量方法、光学检测系统以及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种激光干涉仪，其特征在于，所述激光干涉仪包括： 第一光学测量元件，所述第一光学测量元件被设置为按照预设的第一入射方向角向被测光栅投射第一测量光，并接收经由所述被测光栅衍射所述第一测量光形成的第一干涉图，所述被测光栅无需移动，其中，所述第一入射方向角是基于所述被测光栅的光栅方程确定的，所述光栅方程的表达式为，表示被测光栅的名义周期；表示第一入射方向角；表示衍射角；为衍射级次，=1；为激光干涉仪所使用的激光波长；在利特罗构型下，1阶衍射光沿原路返回，以使所述衍射角与所述第一入射方向角大小相等，将条件=代入所述光栅方程的表达式，计算得到所述第一入射方向角； 第二光学测量元件，所述第二光学测量元件与所述第一光学测量元件对称设置，均设置于所述被测光栅的光栅周期侧；所述第二光学测量元件被设置为按照与所述第一入射方向角对称的第二入射方向角向所述被测光栅投射第二测量光，并接收经由所述被测光栅衍射所述第二测量光形成的第二干涉图； 成像采集模块，所述成像采集模块分设于所述第一光学测量元件的成像侧以及所述第二光学测量元件的成像侧，所述成像采集模块被设置为依据所述第一干涉图以及所述第二干涉图确定所述被测光栅周期均匀性的测量结果； 所述成像采集模块被设置为在完成所述第一干涉图和所述第二干涉图的图像配准后，通过所述成像采集模块中的相位解调算法从所述第一干涉图以及所述第二干涉图中分别提取对应的第一横轴相位分布函数以及第二横轴相位分布函数，将所述第一横轴相位分布函数与所述第二横轴相位分布函数进行作差处理，抵消因所述被测光栅的基底面型引入的共模误差，从而得到所述被测光栅周期分布的相位差信息，并依据所述相位差信息进行空间微分运算，得到所述被测光栅以纳米周期为单位的局部周期误差二维分布图，依据所述局部周期误差二维分布图确定所述被测光栅周期均匀性的测量结果。

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