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龙图腾网获悉无锡金源半导体科技有限公司申请的专利晶圆加热盘视觉检测方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121366157B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511916504.2，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权晶圆加热盘视觉检测方法及系统是由崔仁权;李凯南;韩伟男;李培锐设计研发完成，并于2025-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆加热盘视觉检测方法及系统在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆加热盘视觉检测方法及系统，检测方法的步骤包括：检测环境参数配置，上料定位，常温冷态检测，热态稳态检测和数据处理及结果判定，通过晶圆加热盘视觉检测系统执行，能够多维获取加热盘上表面、下表面、侧面的图像以实现全表面检测，并能兼顾常温冷态与热态稳态工况，结合光纤光栅传感器采集的温度分布数据，实现对冷态固有缺陷和热致新增缺陷的有效识别；并且整个系统从环境参数配置、机械臂上料定位、图像采集、数据处理和结果判定均实现自动化控制，同时在检测流程中融入灰度突变复核，减少人工干预和人工主观误差，提升检测精度。

本发明授权晶圆加热盘视觉检测方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆加热盘视觉检测方法，其特征在于，检测步骤包括： 常温冷态检测：配置温度控制在25℃±2℃、湿度40%-60%RH且无尘的检测环境，并基于晶圆加热盘的材质配置检测参数，获取加热盘各表面的冷态图像，其中在加热盘的上表面冷态图像的获取过程中执行灰度值实时检测并在检测到满足预设条件的灰度值突变区域时控制加热盘停止转动，并以变焦模式多角度获取灰度值突变区域的复核图像；在加热盘的侧面冷态图像的获取过程中实时执行红、蓝光异帧同位置差分运算以得到差分图像，并提取差分图像中灰度值≥30的连续区域为裂纹轮廓数据；所述常温冷态检测步骤的下表面冷态图像的获取步骤包括固定区域采集：配置红光光源直射加热盘下表面并驱动加热盘按预设转速绕自身圆心匀速转动，按预设光强和曝光时间采集初始固定区域图像；逐帧实时预处理：以耗时小于相邻两帧图像的采集时间对采集的前一帧依次执行灰度化、高斯降噪、边缘增强的预处理得到缺陷特征增强的固定区域图像；边缘遮挡补偿采集：沿加热盘径向分步平移加热盘并在每步平移后采集和逐帧实时预处理以得到加热盘的下表面的边缘遮挡图像；图像拼接：基于特征点匹配算法对固定区域图像和边缘遮挡图像执行拼接处理以得到加热盘下表面冷态图像，其中特征点匹配算法要求每帧图像提取的特征点数量≥50个，特征点匹配阈值≥0.7，全表面图像的拼接误差≤1像素； 热态稳态全表面检测：启动加热盘的自加热并实时获取加热盘的温度分布数据以在达到热态稳态状态时，获取加热盘的各表面热态图像，并基于温度分布数据执行温度-灰度值映射模型以逐帧修正各表面热态图像的灰度值以获得各表面等效图像； 数据处理与结果判定：包括： 缺陷提取：输入各表面冷态图像和各表面等效图像并分别独立依次执行自适应阈值分割算法、形态学开运算以对应输出各表面冷态候选缺陷清单和各表面热态候选缺陷清单； 三重过滤：对缺陷提取步骤所输出的候选缺陷清单分步执行多光色对比过滤、边缘梯度分析过滤、冷热态对比过滤，锁定冷态固有缺陷和热致新增缺陷； 缺陷量化及结果判定：按缺陷类型对应提取像素特征并筛选相应像素参数，结合校准后像素当量，按预设换算规则得到对应缺陷实际物理尺寸，依据半导体行业量化标准和温度分布数据作出合格或否的判定。

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