昆山欣谷微电子材料有限公司杨游获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山欣谷微电子材料有限公司申请的专利一种钛合金蚀刻液及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121295186B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511850874.0，技术领域涉及：C23F1/26；该发明授权一种钛合金蚀刻液及其制备方法是由杨游;彭家辉;王建荣;王博宇;高秀姣设计研发完成，并于2025-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种钛合金蚀刻液及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种钛合金蚀刻液及其制备方法，属于蚀刻用组合物技术领域，包括如下步骤：S1、在持续搅拌下，将氨基硫脲溶解在无水乙醇中，然后滴加3‑乙酰香豆素溶液混合搅拌，滴加浓醋酸，在持续搅拌下回流，冷却，过滤，取出固体，洗涤，得到香豆素‑硫代氨基脲杂化物；S2、将香豆素‑硫代氨基脲杂化物加入到无水乙醇中，加热，超声处理得到香豆素‑硫代氨基脲溶液；S3、将去离子水、柠檬酸、柠檬酸铵、羟基亚乙基二膦酸水溶液、双氧水和香豆素硫代氨基脲杂化物溶液混匀得到钛合金蚀刻液。本发明能够使蚀刻高效稳定进行的同时避免侧蚀现象的发生。
本发明授权一种钛合金蚀刻液及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种钛合金蚀刻液的制备方法，其特征在于，包括如下步骤： S1、在持续搅拌下，将氨基硫脲溶解在无水乙醇中，然后滴加3-乙酰香豆素溶液混合搅拌10~15min，滴加浓醋酸后，在持续搅拌下回流6~8h，冷却至室温，真空过滤分离，取出固体，用0~4℃的无水乙醇洗涤3~5次，得到香豆素-硫代氨基脲杂化物； S2、将0.14g香豆素-硫代氨基脲杂化物加入到5mL无水乙醇中，加热，超声处理得到香豆素-硫代氨基脲溶液； S3、将650mL去离子水、75g柠檬酸、75g柠檬酸铵、22mL质量浓度为60%的羟基亚乙基二膦酸水溶液、0.2g氨基三乙酸、170mL体积浓度为30%的双氧水和香豆素-硫代氨基脲杂化物溶液混匀得到钛合金蚀刻液。
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