杭州昂坤半导体设备有限公司牛少南获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州昂坤半导体设备有限公司申请的专利一种晶圆的气浮定位装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121285269B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511821167.9，技术领域涉及：H10P72/50；该发明授权一种晶圆的气浮定位装置是由牛少南;黄康宁;马铁中设计研发完成，并于2025-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆的气浮定位装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆的气浮定位装置，包括：盘体，盘体设置有多个在其表面形成孔口的气孔，其中一部分气孔设置为由其孔口喷出气体的正压孔，另一部分气孔设置为由其孔口吸入气体的负压孔，使得盘体表面形成用于悬浮晶圆的气膜。本发明的有益效果在于，能够有效避免晶圆受损。
本发明授权一种晶圆的气浮定位装置在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆的定位装置，其特征在于，包括： 盘体1，所述盘体1设置有多个在其表面形成孔口的气孔，其中一部分所述气孔设置为由其孔口喷出气体的正压孔h1，另一部分所述气孔设置为由其孔口吸入气体的负压孔h2，使得所述盘体1表面形成用于悬浮晶圆的气膜； 所述盘体1的表面定义有多个以所述盘体1中心为圆心的同心圆环，并且，多个同心圆环沿径向交替设定为正压同心圆环c1以及负压同心圆环c2，所述正压孔h1沿所述正压同心圆环c1的周向间隔布置，所述负压孔h2沿所述负压同心圆环c2间隔布置； 所述盘体1的表面定义有多个沿径向布置的拱形气流环区r，每个所述拱形气流环区r包括两个相邻的所述正压同心圆环c1和所述负压同心圆环c2，所述正压孔h1和所述负压孔h2的轴线方向被配置为，适于使得所述拱形气流环区r所对应的气膜主体由拱形气流所形成； 所述盘体1的表面在任意相邻两个所述同心圆环之间具有环形延伸并且凸起形成的阻流坝3，用于阻挡位于同一个所述拱形气流环区r并且未形成拱形气流的气体。
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