中科芯微智能装备(沈阳)有限公司朱玉东获国家专利权
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龙图腾网获悉中科芯微智能装备(沈阳)有限公司申请的专利基于预设轨迹的双臂机械手动态校准装置及校准方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121245861B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511821256.3,技术领域涉及:B25J9/16;该发明授权基于预设轨迹的双臂机械手动态校准装置及校准方法是由朱玉东;常志勇;刘春廷;孟君燕设计研发完成,并于2025-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于预设轨迹的双臂机械手动态校准装置及校准方法在说明书摘要公布了:本发明公开了基于预设轨迹的双臂机械手动态校准装置及校准方法,涉及晶圆输送领域,包括:导向移动件,用于提供并约束一预设的直线运动轨迹;支承件,与导向移动件连接,并能受控地沿直线运动轨迹移动;两个对称设置的浮动连接件,安装于所述支承件上,浮动连接件位于直线运动轨迹的两侧且分别与两个手臂的末端关节可拆卸地刚性连接;其中,每一浮动连接件均能绕一垂直于直线运动轨迹的轴线旋转,并能沿所述轴线的方向适应性浮动;当支承件沿直线运动轨迹移动时,两个浮动连接件能够同时牵引两个手臂同步沿直线运动轨迹伸展或收缩。采用上述方案,在多源误差叠加环境下快速校准双臂以实现双臂运动轨迹的稳定一致。
本发明授权基于预设轨迹的双臂机械手动态校准装置及校准方法在权利要求书中公布了:1.基于预设轨迹的双臂机械手动态校准装置,应用于机械手,机械手包括本体6以及枢转连接于所述本体6的镜像对应且可独立伸出或缩回的第一臂7和第二臂8,第一臂7包括第一上臂71、第一前臂72及第一末端执行器73,并依次具有第一肩部轴线SX1、第一肘部轴线EX1以及第一腕部关节轴线WX1,其特征在于,包括: 导向移动件1,用于提供并约束一预设的直线运动轨迹11; 支承件2,与所述导向移动件1连接,并能受控地沿所述直线运动轨迹11移动; 两个对称设置的浮动连接件3,安装于所述支承件2上,所述浮动连接件3位于所述直线运动轨迹11的两侧且分别与第一臂7和第二臂8的末端关节4可拆卸地刚性连接; 其中,每一所述浮动连接件3均能绕一垂直于所述直线运动轨迹11的轴线旋转,并能沿所述轴线的方向适应性浮动;当所述支承件2受控地沿所述直线运动轨迹11移动时,两个所述浮动连接件3能够做适应性浮动及适应性旋转的同时牵引第一臂7和第二臂8同步沿所述直线运动轨迹11伸展或收缩; 在校准前,松动机械手各关节的紧固件,使各关节在预定角度范围内具有活动余量;驱动所述支承件2沿所述直线运动轨迹11移动,通过两个所述浮动连接件3同步牵引第一臂7和第二臂8伸展或收缩,在此过程中,各关节基于所述浮动连接件3的旋转与浮动进行自适应调整,以释放机械间隙并校准运动轨迹; 在校准后,锁紧各关节的紧固件以固定校准后的姿态;解除所述浮动连接件3与第一臂7和第二臂8的刚性连接。
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