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龙图腾网获悉中国科学院近代物理研究所申请的专利等离子体源的屏蔽结构及其设计方法、等离子体处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121152198B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511688435.4，技术领域涉及：H05K9/00；该发明授权等离子体源的屏蔽结构及其设计方法、等离子体处理设备是由刘晔;封安辉;杨建成;阮爽;张帅;王鹏基设计研发完成，并于2025-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本等离子体源的屏蔽结构及其设计方法、等离子体处理设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种等离子体源的屏蔽结构及其设计方法、等离子体处理设备，涉及电磁屏蔽技术领域，等离子体源包括螺线管，屏蔽结构包括包围所述螺线管的屏蔽体，屏蔽体上设有至少一个基于截止波导理论设计的屏蔽通道，用于在保证物理连通的前提下抑制电磁泄漏。屏蔽通道包括设置于所述屏蔽体的侧面且用于散热的通风窗、用于供管线穿过并与外部软管固定件连接的带螺纹的圆形波导管及供生长样品腔穿过的可分段波导管。通过构建屏蔽体，对等离子体源中的螺线管进行全方位屏蔽；通过合理设计波导结构的尺寸与布局，实现对射频能量的高效抑制，解决传感器因电磁干扰导致的失灵，保障等离子体处理设备的稳定运行。

本发明授权等离子体源的屏蔽结构及其设计方法、等离子体处理设备在权利要求书中公布了：1.一种等离子体源的屏蔽结构，等离子体源包括螺线管31，其特征在于， 所述屏蔽结构包括包围所述螺线管31的屏蔽体7，所述屏蔽体7上设有至少一个基于截止波导理论设计的屏蔽通道，所述屏蔽通道用于在保证物理连通的前提下抑制电磁泄漏； 其中，所述屏蔽通道包括： 波导通风窗72，设置于所述屏蔽体7的侧面，用于散热； 带螺纹的圆形波导管731，用于供管线穿过并与外部软管固定件732连接； 可分段波导管74，用于供生长样品腔4穿过； 所述波导通风窗72由矩形波导单元阵列构成，其中，矩形波导单元的设计尺寸根据所述等离子体源的工作频率并基于截止波导理论确定； 所述矩形波导单元的宽边边长a和厚度满足以下关系： ； ， 为矩形波导单元的截止频率，单位GHz；为等离子体源的工作频率，单位为GHz；SE1为矩形波导单元的屏蔽效能，单位dB；a的单位cm；的单位m；为波导内填充介质的相对介电常数； 所述带螺纹的圆形波导管731的设计尺寸根据所述等离子体源的工作频率并基于截止波导理论确定； 所述带螺纹的圆形波导管731的内径d和长度满足以下关系： ； ， 其中，为圆形波导管的截止频率，单位GHz；为等离子体源的工作频率，单位为GHz；SE2为带螺纹的圆形波导管731的屏蔽效能，单位dB；d的单位为cm；的单位为m；、分别为波导内填充介质的相对磁导率和相对介电常数； 所述可分段波导管74由多个分段组成，各分段的组合总长度根据预定屏蔽效能确定。

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