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龙图腾网获悉上海集迦电子科技有限公司申请的专利晶圆在线检测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121149034B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511667069.4，技术领域涉及：H10P74/20；该发明授权晶圆在线检测系统是由崔维设计研发完成，并于2025-11-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆在线检测系统在说明书摘要公布了：本申请涉及在线检测技术领域，具体为晶圆在线检测系统，包括边缘标定模块、探针切换模块、温度传感模块、光学检测模块、动态补偿模块。本发明中，通过细致分析晶圆边缘区域的坐标误差，建立偏移率数据，与探针切换过程中的周期偏差量对比，显著提高探针切换的精度，进而优化温度感应和光学反射数据的分析，进而得到精确的光谱图层差异标注图，通过区域温差波动图谱与光学误差图的结合，对晶圆的光学检测和温度检测进行动态补偿，极大地改善晶圆在线检测效果，实现晶圆表面缺陷的更精细定位与识别，提升晶圆在线检测的整体精度与效率，减少了缺陷漏检与误判的风险，进一步优化生产线检测过程中的自动化水平和检测结果的准确性。

本发明授权晶圆在线检测系统在权利要求书中公布了：1.晶圆在线检测系统，其特征在于，所述系统包括： 边缘标定模块获取待检测晶圆边缘区域结构图像，识别嵌入式环形标定区边界内光学标定图案坐标组与温度敏感阵列布点坐标组，计算整体偏移值建立坐标误差分布图，将误差累计量与区域总点位数作比，获取标定区偏移率数据； 探针切换模块基于所述标定区偏移率数据，切换检测探针至晶圆标定区，记录切换周期位置变化曲线，对比标定区空间路径长度计算周期偏差量，判定切换是否形成回差行为，得到探针切换精度指标； 温度传感模块根据所述探针切换精度指标激活电阻阵列，采集标定区热电阻变化值序列，计算节点平均热响应速度并执行响应速度差值判断，若大于响应平衡限界则标记为温感不均行为，得到区域温差波动图谱； 光学检测模块基于所述区域温差波动图谱中标记区域，采集标记区域光学反射图像，获取当前图层与参考标定图层在相同坐标点下像素灰度差值矩阵，定位标注像素差值绝对值最大点位置，生成光谱图层差异标注图； 动态补偿模块根据所述光谱图层差异标注图与所述区域温差波动图谱中的区域坐标对应关系，逐区对原始检测图像进行补偿图像重构，获取晶圆在线检测成像结果图。

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