北京京仪自动化装备技术股份有限公司徐鑫伟获国家专利权
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龙图腾网获悉北京京仪自动化装备技术股份有限公司申请的专利一种用于半导体温控设备的EtherCAT从站网关获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121098666B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511641334.1,技术领域涉及:H04L12/66;该发明授权一种用于半导体温控设备的EtherCAT从站网关是由徐鑫伟;陈富强;丁金龙;陈杰设计研发完成,并于2025-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于半导体温控设备的EtherCAT从站网关在说明书摘要公布了:本申请提供了一种用于半导体温控设备的EtherCAT从站网关,包括硬件层与软件层:硬件层为嵌入式半导体工业设备通信网关,集成供电模块、主控模块、以太网通信模块、EtherCAT从站模块及24V输入输出端口模块;软件层为分层架构的嵌入式软件系统,分为应用层、协议层及硬件抽象层,实现业务逻辑处理、通信协议转换与软硬件交互解耦。本申请通过硬件与软件的协同工作,能够实现半导体生产设备主机与Chiller之间基于EtherCAT协议的数据传输,提升数据传输的实时性、准确性与系统可维护性,适配半导体生产对温度控制的高精度、高稳定性需求。
本发明授权一种用于半导体温控设备的EtherCAT从站网关在权利要求书中公布了:1.一种用于半导体温控设备的EtherCAT从站网关,其特征在于,所述网关包括:硬件层与软件层;所述硬件层为嵌入式半导体工业设备通信网关,所述嵌入式半导体工业设备通信网关包括供电模块、主控模块、以太网通信模块、EtherCAT从站模块和24V输入输出端口模块;所述软件层为采用分层架构的嵌入式软件系统,所述嵌入式软件系统包括应用层、协议层和硬件抽象层;所述硬件层与软件层协同工作,实现半导体生产设备主机与半导体温控设备Chiller之间基于EtherCAT协议的数据传输; 所述半导体温控设备的EtherCAT从站网关采用动态资源配置,所述动态资源配置基于模块索引动态绑定与映射配置读取与缓存实现,启动时依据模块数量与预定义索引规律,自动计算并绑定各模块的RxPDO、TxPDO及其过程数据对象,以实现同构多模块的零拷贝访问;运行期读取当前生效的PDO分配与映射,将每个映射项的索引、子索引、位宽解析为统一结构并缓存;TxPDO组合用于输入数据上报时,按当前TxPDO分配顺序遍历映射项,对状态位执行位级累加与字节对齐打包,对模拟量、定长字段进行按偏移快速拷贝,并对异常的关键健康状态提供优先打包;RxPDO解析用于输出命令下发时,按当前RxPDO分配顺序解析输入帧,对布尔位控量按位掩码精确写回,对模拟量、定长字段按对象字典偏移写回;基于位级打包压缩,利用映射结构的预解析缓存降低循环内计算开销,通过顺序布局优先处理高频关键字段;主站通过SDO修改PDO分配、映射后,自动刷新缓存并按新映射即时执行组合、解析,且兼容默认TxPDO映射; 还包括硬件ID锁,底层的硬件ID安全存储区提供设备唯一标识,且具备只读或一次性可编程属性;中间层的身份验证与密钥协商逻辑在主站建立连接或切换到关键状态时,触发身份验证流程,从站读取硬件ID安全存储区的设备ID与认证材料,参与主站下发的随机挑战,生成一次性响应,以使主站根据约定的验证规则与密钥材料校验响应;上层的会话级安全绑定与访问控制在身份验证通过后,建立主从安全绑定关系,绑定内容包括主站标识、会话密钥派生参数、绑定有效期与会话策略,绑定期间对对象访问、状态迁移进行控制,会话到期需续期验证,异常断链或篡改检测触发绑定撤销与回落到受限态。
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