惠科股份有限公司李泽尧获国家专利权
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龙图腾网获悉惠科股份有限公司申请的专利容栅位移传感器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121089552B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511615616.4,技术领域涉及:G01B7/02;该发明授权容栅位移传感器是由李泽尧;叶利丹设计研发完成,并于2025-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本容栅位移传感器在说明书摘要公布了:本申请提供了一种容栅位移传感器。第一栅板,包括发射电极组,发射电极组包括沿第一方向排布的多个发射电极阵列;每个发射电极阵列包括沿第一方向周期排布的多个发射电极;第二栅板,包括反射电极;反射电极包括多个反射电极条;其中,一个发射电极组与一个反射电极构成一测量组;测量组中,在第一方向上,以各发射电极阵列中相同位置的发射电极为第一基准,各反射电极条相对于对应第一基准的偏移量不相等。通过使测量组中各反射电极条相对于对应第一基准的偏移量不相等,将受制程极限的节距分散为测量组中的多个偏移量,从而突破传统节距的物理限制,使容栅位移传感器在相同制程条件下实现更高精度的位移测量。
本发明授权容栅位移传感器在权利要求书中公布了:1.一种容栅位移传感器,其特征在于,包括: 第一栅板,包括发射电极组,所述发射电极组包括沿第一方向排布的多个发射电极阵列;每个所述发射电极阵列包括沿所述第一方向周期排布的多个发射电极; 第二栅板,包括反射电极;每个所述反射电极包括多个反射电极条; 其中,一个所述发射电极组与一个所述反射电极构成一测量组; 所述测量组中,在所述第一方向上,以各所述发射电极阵列中相同位置的所述发射电极为第一基准,各所述反射电极条相对于对应所述第一基准的偏移量不相等; 每个所述发射电极阵列对应至少一个所述反射电极条;每个所述发射电极阵列对应的所述反射电极条构成一个反射电极组;所述发射电极组为多个,所述容栅位移传感器还包括控制电路,所述控制电路被配置为控制各所述发射电极组独立工作;每个所述测量组中,定义各所述反射电极组中相同位置的所述反射电极条为第二基准,在所述第一方向上,各所述第二基准相对于对应所述第一基准的偏移量构成数列,定义各所述数列中绝对值最小的非零项为参考项;各所述测量组的所述参考项互不相同。
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